Máquina de recubrimiento al vacío antirreflejo DLC 600

Resumen
El LEYBOLD OPTICS DLC 600 es un equipo de recubrimiento al vacío de precisión que utiliza deposición química de vapor asistida por plasma (PECVD) para aplicar capas de carbono tipo diamante (DLC) en componentes ópticos y de imagen térmica. Está diseñado para producir capas DLC duras, uniformes y resistentes al ambiente, optimizadas para aplicaciones antirreflejantes en IR sobre substratos Ge y Si.

Beneficios clave

• Compatibilidad amplia de sustratos: La sujeción por gravedad permite procesar formas y geometrías variadas hasta 300 mm de diámetro y aproximadamente 30–40 mm de altura.
• Rendimiento IR específico: Parámetros de proceso y materiales adaptados a substratos de Ge y Si para mejorar la transmitancia IR y ofrecer rendimiento antirreflejante consistente.
• Capas DLC protectoras y duraderas: El sistema deposita películas DLC extremadamente duras y uniformes con alta resistencia ambiental para proteger superficies ópticas expuestas.

Características destacadas
Cámara de proceso y distribución de gas — uniformidad de referencia: El diseño de 'gas shower' de la DLC 600 proporciona una distribución muy uniforme de los gases en la cámara, asegurando un crecimiento de película consistente y un control de espesor preciso en toda el área de recubrimiento, crítico para aplicaciones IR y de baja iluminación como visión nocturna y sensores de distancia.

Monitorización óptica in situ — reproducibilidad de pilas de capas: El sistema de monitorización óptica OMS 5100 integrado controla el crecimiento de la película en tiempo real, garantizando tolerancias de espesor y alta repetibilidad para que las capas diseñadas coincidan con el producto final.

Especificaciones técnicas

• Tecnología de recubrimiento: deposición química de vapor asistida por plasma (PECVD) para películas DLC.
• Tipo de recubrimiento: diamond-like carbon (DLC) — duro, uniforme y resistente al medio ambiente.
• Sustratos compatibles: Germanio (Ge) y Silicio (Si), optimizado para anti-reflectante IR.
• Diámetro máximo del sustrato: hasta 300 mm.
• Altura típica del sustrato: aprox. 30–40 mm.
• Sujeción de sustrato: retención por gravedad para diversas geometrías.
• Control de proceso: OMS 5100 monitorización óptica in situ para control de espesor y repetibilidad.
• Distribución de gases: gas shower específico para uniformidad excepcional.
• Código de producto: CUBE-00010-019.

Aplicaciones típicas

• Recubrimientos antirreflejantes IR para óptica de precisión.
• Capas DLC protectoras para dispositivos de visión nocturna y sistemas de imagen térmica.
• Sensores y componentes en longitudes de onda IR que requieren recubrimientos duraderos y repetibles.