Sensor de gas NDIR Gasboard-2061

para medición de procesospara monitor de purificación de gases con semiconductorpara control de proceso

Resumen
El Gasboard-2061 es un sensor de gas NDIR diseñado para la medición en tiempo real de la concentración de WF6 y la detección de endpoint (EPD) en cámaras de deposición CVD de tungsteno (WCVD). Proporciona lecturas sensibles y repetibles en condiciones de vacío y de proceso para permitir una indicación precisa del endpoint y reducir el consumo de gas de limpieza.

Diseño e integración
El Gasboard-2061, compacto y modular, está concebido para una instalación sencilla en líneas de proceso en vacío. Su construcción en 316L y el trayecto óptico sellado lo hacen resistente a gases de proceso corrosivos. Soporta E/S analógicas y digitales y comunicación RS485 para calibración, registro de datos e integración en sistemas de control.

Características

• Tecnología NDIR optimizada para la medición de WF6.
• Respuesta rápida para el seguimiento en tiempo real de variaciones de concentración.
• Baja deriva de cero y alta repetibilidad para medidas consistentes.
• Diseño sellado apto para ambientes de vacío.
• Construcción en 316L resistente a la corrosión para compatibilidad con procesos agresivos.
• Salidas analógicas (0–5 V o 4–20 mA), entrada analógica y E/S digitales para integración flexible.

Especificaciones (tabla)
Componente medido: WF6
Rango: 0–200 mTorr
Repetibilidad: ±0.5%
Precisión: ±1% F.S.
Tensión de funcionamiento: 24 VDC
Corriente de funcionamiento: 1.5 A (máx)
Salida analógica: 0–5 VDC (4 ch) o 4–20 mA (4 ch)
Entrada analógica: 0–10 VDC (1 ch)
Salida digital: 4 ch
Entrada digital: 1 ch
Comunicación: RS485
Puerto de muestreo: NW25
Tasa de fugas: ≤1 x 10-6 Pa·m3/s (He)
Temperatura ambiente de funcionamiento: 20–35 ℃

Notas sobre condiciones de medida
1. Los datos se miden bajo presión atmosférica estándar.
2. Los gases de calibración son suministrados por institutos de metrología acreditados; gases diluidos en N2 seco (pureza ≥99,999%).
3. Los valores de rendimiento se determinan tras calibración; cada sensor está calibrado al 100% en producción.
4. Las mediciones se realizan a 25 °C de temperatura ambiente.

Especificaciones técnicas

• Modelo: Gasboard-2061
• Gas medido: WF6
• Rango: 0–200 mTorr
• Repetibilidad: ±0.5%
• Precisión: ±1% F.S.
• Alimentación: 24 VDC
• Corriente máxima: 1.5 A
• Salidas analógicas: 0–5 VDC (4 ch) o 4–20 mA (4 ch)
• Entrada analógica: 0–10 VDC (1 ch)
• Salidas digitales: 4 ch; Entrada digital: 1 ch
• Interfaz de comunicación: RS485
• Puerto de muestreo: NW25
• Tasa de fugas (He): ≤1 x 10-6 Pa·m3/s
• Temperatura ambiente de funcionamiento: 20–35 ℃
• Construcción: materiales resistentes a la corrosión 316L; diseño sellado apto para entornos de vacío