Sensor de gas NDIR Gasboard-2060

de infrarrojospara medición de procesospara monitor de purificación de gases con semiconductor

Descripción del producto
Gasboard-2060 es un sensor de gas SiF4 basado en tecnología NDIR, diseñado para la detección en tiempo real del punto final (EPD) durante la limpieza de cámaras CVD en procesos de semiconductores. Integra una celda de gas y óptica específicas para ofrecer una medida selectiva de la concentración de SiF4 y facilitar el control del proceso de limpieza. Gasboard-2060 comunica los niveles de SiF4 con respuesta rápida y admite integración mediante interfaces analógicas y digitales.

Características

• Detección NDIR optimizada para SiF4.
• Respuesta rápida (T90＜2s) para determinar con precisión el punto final de limpieza.
• Salida estable con baja deriva de cero y alta repetibilidad.
• Diseño modular y compacto para instalación y mantenimiento sencillos.
• Salidas analógica (1–10VDC) y digital (RS232); puerto de muestreo KF16.

Especificaciones
Gas medido: SiF4
Principio de detección: NDIR (infrarrojo no dispersivo)
Rango: (0.0–0.2) Absorbance
Tiempo de respuesta: T90＜2s
Tasa de reporte de datos: 0.5s
Salida analógica: 1–10VDC
Alimentación: 15VDC (≤300mA) o 24VDC
Comunicación digital: RS232
Puerto de muestreo: KF16
Dimensiones: 200 × 120 × 75,5 mm
Tasa de fugas: ＜1×10-8 Pa·m3/s (He)
Temperatura de funcionamiento: 5～65 ℃

Especificaciones técnicas

• Gas medido: SiF4
• Principio de detección: NDIR
• Rango: (0.0–0.2) Absorbance
• Tiempo de respuesta: T90＜2s
• Tasa de reporte de datos: 0.5s
• Salida analógica: 1–10VDC
• Alimentación: 15VDC (≤300mA) o 24VDC
• Comunicación digital: RS232
• Puerto de muestreo: KF16
• Dimensiones: 200×120×75,5 mm
• Tasa de fugas: ＜1×10-8 Pa·m3/s (He)
• Temperatura de funcionamiento: 5～65 ℃