Eje rotativo de accionamiento directo DXR+

para la electrónicapara semiconductorcompacto

El DXR+ es un módulo rotativo que presenta un diseño compacto, ligero, un amplio eje hueco, y que ofrece el ratio de coste a prestaciones apropiado para apliciaciones de gama media en semiconductor y electrónica. El DXR+ aporta importantes mejoras en términos de rigidez que tienen un impacto directo en el ancho de banda de regulación de la etapa XY que lo soporta. Puede operarse con tensiones de bus de 48 VDC hasta 300 VDC. Puede regularse con un AccurET modular 48 o 300, o por un AccurET VHP para requerimientos de mayor estabilidad de posición. El módulo DXR+ proporciona una solución adecuada para hacer frente a cualquier aplicación que requiera: - Suavidad de movimiento - Estabilidad de posición en rangos de 100 nm en radios de 150 mm El uso de este módulo es adecuado para, entre otras aplicaciones: - control de proceso de obleas, corte de obleas - trazado de obleas - recocido por láser - fabricación de células fotovoltaicas - etc. Especificaciones - Repetitividad bidireccional ±2 arcsec a ±3sigma - Precisión de posición : hasta ±30 arcsec (sin calibración) & hasta ±3 arcsec tras calibración - Velocidad hasta 400 rpm - Estabilidad de posición ±0,2 arcsec - Capacidad de alta estabilidad de velocidad