Sistema de posicionamiento arquitectura apilada VULCANO2

2-3 ejeslinealpara la industria de los semiconductores

VULCANO2 es una arquitectura de ejes apilados de pórtico basada en un rodamiento mecánico acoplado a codificadores ópticos de alta gama. El uso de los renombrados motores con núcleo de hierro ETEL, junto con los innovadores principios de diseño, permite alcanzar altas dinámicas a niveles de rendimiento geométrico y de movimiento muy mejorados. Centrada en facilitar las aplicaciones de semiconductores, la plataforma sigue siendo adecuada para todos los diversos mercados y necesidades que requieren soluciones para una mayor dinámica; de hecho, incluso su mejor huella en su clase sobresale para maximizar su propuesta de valor de Coste de Propiedad global. Los clientes que deseen alcanzar un mayor rendimiento, ciclos de trabajo o servir cargas útiles más pesadas sin pérdida de repetibilidad o de precisión, pueden adoptar con confianza un VULCANO2 estándar o una solución personalizada derivada. El VULCANO2 representa también una solución perfecta para todos los casos de uso en los que la dinámica, los ciclos de trabajo y las cargas útiles no son tan rigurosos, aunque la precisión de posicionamiento debe establecerse durante tiempos muy largos: ofrecer varias horas de precisión de navegación en el nivel U ya no es un sueño, sino una sólida realidad de esta nueva oferta de ETEL. El uso de esta plataforma es adecuado para, pero no limitado a: - Aplicaciones de control de procesos de obleas como la metrología de superposición, dimensión crítica y metrología de película delgada - Back-end: procesos de flip-chip realizados en grandes paneles/sustratos Características: - Tamaño compacto - Carga útil hasta 80 kg - Estabilidad de la posición del nivel del nanómetro - Alta dinámica - Excelente repetibilidad bidireccional y estabilidad de posición - Compatibilidad con salas limpias ISO 2