Aparato de control de semiconductores

El sistema óptico de detección de campo claro y oscuro, desarrollado de forma independiente, se utiliza para detectar los defectos de aspecto de las materias primas semiconductoras, las obleas epitaxiales y las obleas estampadas, en las empresas de fabricación de materias primas y en las empresas de fabricación de obleas de la cadena de la industria de semiconductores. Ventajas del producto: Aplicable a una gran variedad de obleas Adecuado para obleas de 4-8 pulgadas, sustratos, obleas epitaxiales y obleas con patrón Puede detectar una gran variedad de defectos Detecta partículas, hoyos, protuberancias, arañazos, manchas, grietas y otros defectos Alta resolución Resolución del sistema 1-10 μ m Rápida velocidad de detección Oblea sin patrón: 180 segundos / oblea cuando el número de defectos es inferior a 200