Máquina de deposición por pulverización catódica con magnetrón OPT-S 800

vertical en líneapara aplicaciones automóviles

Resumen
OPT-S 800 es un sistema de recubrimiento óptico por sputtering magnetrón con un área de recubrimiento efectiva de Φ650 × H450 mm y una cámara de Φ1150 × H980 mm. El equipo integra grabado por fuente de iones y cuatro fuentes de sputtering, con opciones planares o cilíndricas. La serie OPT-S está diseñada para depósitos multicapa uniformes en lentes ópticas, paneles automotrices, pantallas, módulos LiDAR y HUDs.

Aplicaciones

• Lentes ópticas
• Paneles automotrices (exterior/interior)
• Pantallas y paneles táctiles
• Optica para LiDAR y sensores
• Head-up displays (HUD)

Tipos de película

• Filtros de corte
• Filtros pasa-banda y filtros RGB
• AR (antirreflectante)
• Hard AR
• IR-AR
• HR (alta reflectividad)
• AS/AF (antimanchas / anti-huellas)
• Recubrimientos ITO (conductores transparentes)

Beneficios clave

• Cuatro fuentes de sputtering con opciones planares o cilíndricas para configuración de proceso flexible
• Monitorización óptica en línea para retroalimentación espectral en tiempo real y control del punto final de depósito multicapa
• Movimiento planetario (revolución y rotación) del sustrato para asegurar una distribución uniforme del espesor de película
• El proceso de sputtering produce películas ópticas densas y adherentes con bajas pérdidas por absorción y dispersión

Características

• Área de recubrimiento efectiva: Φ650 × H450 mm
• Tamaño de la cámara: Φ1150 × H980 mm
• Portapiezas: Φ135 × 10 ejes (ajustable); porta piezas cilíndrico planetario vertical
• Pantalla táctil e interfaz PLC
• Dos bombas moleculares (componentes del sistema de vacío)

Parámetros del producto (tabla)
Modelo: OPT-S 800
Tecnología de recubrimiento: Sputtering magnetrón
Tecnología de grabado: Grabado por fuente de iones
Materiales de sustrato: Vidrio, materiales cristalinos, polímeros, cerámicas, metales
Estructura del equipo: Sistema vertical integrado; puerta lateral; 2 ventanas de visualización
Tamaño de la cámara (Diámetro × Altura): Φ1150 × H980 mm
Área de recubrimiento efectiva (Diámetro × Altura): Φ650 × H450 mm
Especificación del portapiezas: Φ135 × 10 ejes; ajustable
Fuentes de sputtering: 4; opciones planares / cilíndricas
Temperatura de trabajo: Ambiente a 300°C (ajustable)
Vacío último: 8 × 10⁻⁵ Pa (sin carga, condición de sala limpia)
Gases de proceso: Argón, nitrógeno, oxígeno, acetileno
Dimensiones del equipo (L × W × H): L3.8 × W1.8 × H2.3 m

Especificaciones técnicas

• Modelo: OPT-S 800
• Método de recubrimiento: Sputtering magnetrón
• Método de grabado: Grabado por fuente de iones
• Cámara: Φ1150 × H980 mm
• Área de recubrimiento efectiva: Φ650 × H450 mm
• Portapiezas: Φ135 × 10 ejes, planetario vertical
• Fuentes de sputtering: 4 (opciones planares o cilíndricas)
• Rango de temperatura: RT a 300°C
• Vacío último: 8 × 10⁻⁵ Pa (sin carga, condición sala limpia)
• Gases de proceso: Ar, N2, O2, C2H2
• Dimensiones: L3.8 × W1.8 × H2.3 m