Sistema de supervisión de temperatura Process Probe™ 1730

para control de proceso

Sistema de control in situ de la temperatura de las obleas Las obleas instrumentadas Process Probe™ 1730 permiten una caracterización precisa in situ de los perfiles de temperatura de las obleas en sistemas de pistas fotorresistentes, sistemas de mandriles para obleas con control de temperatura, aplicaciones de hornos y aplicaciones de horneado de resistencias, poliimida y SOG. El Process Probe 1730 ayuda a los ingenieros a caracterizar y ajustar con precisión las condiciones del proceso para mejorar el rendimiento de los equipos de proceso y obtener un mayor rendimiento. Aplicaciones Desarrollo de procesos, Cualificación de procesos, Cualificación de herramientas de proceso, Adaptación de herramientas de proceso Sistemas de pista litográfica, Sistemas de plato de oblea y hornos de temperatura controlada | -150-300°C