para condiciones de alto vacío de hasta 10^(-6) mbar
huella de 25 x 35 mm
Posicionadores xyz en miniatura con accionamiento piezoeléctrico de inercia. Edición para vacío del MX 25.
Datos técnicos
Anchura - 35 mm
Altura - 18,5 mm
Profundidad - 25 mm
Carga máx. Carga (3 ejes)
Mx, My, Mz (impulso) - 1,5 Ncm
Fuerzas de bloqueo (Fx, Fy, Fz) - 2 N
Precisión de guiado
Ángulo de guiñada - 20 segundos de arco
Ángulo de cabeceo - 60 segundos de arco
Desviación vertical - 2 um
Desviación lateral - 2 um
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