para las condiciones del vacío ultraalto hasta 10^ (- 9) mbar
viaje de 3,5 milímetros en la dirección de x, de y y de z
huella de 15 x 15 milímetros
Etapas miniatura ultra pequeñas de la traducción con la impulsión de inercia ecléctica piezoeléctrica. Edición de UHV de MS15.
---