para las condiciones del alto vacío hasta 10^ (- 9) mbar
viaje de 2 milímetros en la dirección de x, de y y de z
huella de 25 x 35 milímetros
Posicionadores miniatura del xyz con la impulsión de inercia eléctrica piezoeléctrica. Edición de UHV del MX 25.
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