Medidor de espesores de film capaNCDT TFG6220

para material delgadobenchtopcapacitivo

Descripción general
El sistema capacitivo TFG6220 mide con precisión el espesor de películas conductoras (por ejemplo, películas de baterías). Un dispositivo de vacío sujeta y alisa la muestra para proporcionar una superficie de referencia sin arrugas. La unidad está premontada para una rápida puesta en servicio y está diseñada para inspección de calidad offline por muestreo aleatorio.

Funcionalidades clave

• Alisado por vacío de la película para eliminar arrugas y garantizar un posicionamiento repetible
• Brazo de medición con dos sensores capacitivos y un inserto de medición integrado para un referenciado sencillo
• Adquisición y visualización de datos mediante sensorTOOL (interfaz web)

Aplicaciones
Inspección offline y rápida del espesor de películas conductoras para control de calidad y seguimiento de procesos, p. ej. películas para baterías.

Especificaciones técnicas

• Resolución: 10 nm
• Repetibilidad: 1 µm
• Espesor de película medible: < 1 mm
• Principio de medida: compensación entre dos sensores capacitivos
• Manejo de muestras: dispositivo de vacío externo para alisado y sujeción
• Configuración: premontado, listo para operar
• Software: sensorTOOL para visualización y ajustes