Sistema de manipulación con mando a distancia NWL200

automatizadocontrolado por PCasistido por ordenador

Descripción
La familia NWL200 proporciona transferencia y manejo automatizado de obleas de 6" (150 mm) y 8" (200 mm), con opción para obleas ultrafinas hasta 100 µm. Diseñada para integrarse con microscopios ópticos y sistemas de medición por vídeo, la serie ofrece alto rendimiento y manipulado seguro en líneas de inspección de producción.

Compatibilidad y capacidades generales

• Soporta diámetros de oblea 6" (150 mm) y 8" (200 mm).
• Integración con microscopios Nikon Eclipse L200N, LV150N y sistemas NEXIV VMZ‑S.
• Manipulación estándar para 300 µm y 200 µm; chuck opcional para 100 µm ultrafinos.

Capacidades clave y manejo

• Sistema multi‑brazo para carga y descarga rápida y precisa.
• Elevador rápido de casetes con centrado sin contacto para alineación precisa.
• Soporte de inspección macro: patrón frontal, periferia posterior y zona central.
• Velocidad de rotación y ángulo de inclinación programables (auto/manual) según la tarea de inspección.
• El mandril de vacío del brazo macro permanece activo ante fallos de alimentación para permitir extracción segura de la oblea.

Diseño para sala limpia y control de contaminación
El flujo de aire continuo en las zonas de sujeción y centrado minimiza la generación de partículas. La cubierta de acero inoxidable reduce la acumulación de estática, compatible con requisitos de sala limpia.

Seguridad y detección de obleas

• Haces y sensores detectan obleas delgadas deformadas y abortan la recogida para evitar colisiones.
• Funciones de evitación de colisiones para reducir el riesgo de daños durante las transferencias.

Ergonomía y usabilidad

• Panel frontal orientado al operario: selección de ranura con un solo botón, pantalla LCD grande y menú estructurado para control de recetas.
• Posición de carga y cambio de casete inclinada 35° a la izquierda para acceso ergonómico y mayor eficiencia operativa.

Operación remota y soporte

• Herramienta Remote Access Web Server permite conexión LAN vía navegador para crear, editar y respaldar recetas de inspección.
• Escritura y copia de seguridad remota de recetas para mantener continuidad de inspección y optimizar el rendimiento.

Especificaciones técnicas

• Diámetros compatibles: 6" (150 mm) y 8" (200 mm).
• Grosor soportado: estándar 300 µm y 200 µm; opcional 100 µm ultrafino.
• Sistemas compatibles: Nikon Eclipse L200N, LV150N; NEXIV VMZ‑S.
• Carga/descarga: sistema multi‑brazo, elevador rápido de casetes, centrado sin contacto.
• Modos de inspección: patrón frontal, periferia posterior, área central; rotación e inclinación ajustables (auto/manual).
• Control de contaminación: flujo de aire continuo; cubierta inoxidable para reducción de estática.
• Seguridad: detección de obleas para evitar colisiones; mandril de vacío activo en caso de pérdida de alimentación.
• Interfaz operario: botón de selección, LCD grande, menú de recetas ; acceso web remoto para gestión y respaldo de recetas.