Sistema de metrología para obleas The Atlas XP+

La serie Atlas de película fina y OCD es la herramienta de metrología para la fabricación de dispositivos FinFET, gate-all-around (GAA) FET, 3D NAND y DRAM avanzados de última generación. El sistema Atlas XP+ ofrece una única plataforma para las mediciones de película fina y OCD para la metrología de obleas de 200 mm. El sistema incorpora un robot de doble brazo, una platina de alta precisión y un sistema de enfoque de alta velocidad. El sistema también cuenta con un reconocimiento de patrones avanzado, una reproducibilidad de espesores mejorada y un rendimiento superior de SR y SE. La interfaz del software N2000™ y la automatización avanzada cumplen con los estándares adoptados por SEMI y otras organizaciones. La función NanoNet®, un componente de red del software de la plataforma de análisis N2000, proporciona una coincidencia de sistema a sistema y una transferencia de recetas sin fisuras.