Achaflanadora eléctrica GC-BD804

de precisiónpara obleasdoble cabezal

Introducción del producto
Este equipo está diseñado para el chaflanado de los bordes de obleas de silicio para semiconductores y es compatible con tamaños de 4", 6" y 8". Soporta el procesamiento de la cara OF (Orientation Flat) y ofrece opcionalmente la función de ranurado NOTCH. La máquina proporciona alta precisión de mecanizado, rendimiento eficiente y funcionamiento estable para entornos de producción.

Parámetros del producto
Dimensiones del equipo (L*W*H): 2.250 * 1.650 * 2.600 mm; Peso: 3.000 kg
Tamaños de oblea: 4", 6", 8"
Rango de espesor de oblea: 300 μm – 1.500 μm
Estación de trabajo: Doble estación
Superficie de referencia de la oblea: OF / Notch (Notch opcional)
Huella del equipo (W*D*H): 2.250 * 1.650 * 2.600 mm
Precisión ejes X/Y/Z de rectificado: ±1 μm; Precisión plana de ventosas cerámicas: ≤3 μm
Precisión extremo de eje del cabezal de rectificado y radial: ±1 μm; Precisión extremo de eje del husillo de la muela y radial: ±1 μm
Diámetro exterior de la muela: Φ202 mm; Diámetro de montaje: Φ30 mm; Espesor de la muela: 20 mm
Velocidad de la muela: 0–4.000 r/min (personalizable)
Velocidad de la muela Notch: 0–100.000 r/min (personalizable)
Perfiles de muela compatibles: T, R, TT, RR, TR, etc.
Medición de espesor de oblea: Contacto o sin contacto; precisión de repetición ±2 μm; puntos de medida: 8 circunferenciales + 1 centro
Método de limpieza: Limpieza rotatoria
Método de secado: Secado centrífugo
Carga/descarga: 4 cajas; 25 ranuras (ajustable)

Características / especificaciones técnicas

• Modelo: GC-BD804
• Aplicación: Chaflanado de bordes de obleas semiconductoras (4", 6", 8")
• Dimensiones del host (L*W*H): 2.250 * 1.650 * 2.600 mm
• Peso del host: 3.000 kg
• Rango de espesor de oblea: 300 μm – 1.500 μm
• Configuración de la estación: Doble estación para mayor productividad
• Procesamiento de superficie de referencia: OF; procesado Notch opcional
• Precisión de posicionamiento X/Y/Z: ±1 μm; precisión plana ventosa cerámica ≤3 μm
• Precisión extremo y radial del husillo y de la muela: ±1 μm
• Muela: OD Φ202 mm, diámetro de montaje Φ30 mm, espesor 20 mm
• Velocidad de muela configurable según cliente (0–4.000 r/min); muela Notch hasta 0–100.000 r/min
• Tipos de muela soportados: T, R, TT, RR, TR, etc.
• Sistema de medición de espesor: Contacto o sin contacto; repetibilidad ±2 μm; 8 puntos circunferenciales + centro
• Procesos integrados de limpieza rotatoria y secado centrífugo
• Carga/descarga: 4 cajas con 25 ranuras ajustables