Sistema de automatización de producción RTA-DIA30000HP-R/L

de procesos

● Aplicable a obleas de tamaño 156/230 ● Compatible con diferentes marcas de equipos de difusión de obleas y diferentes tamaños de bote de cuarzo Características : ● Carga y descarga: Cassette ● Salida: bote de cuarzo ● Resistencia cuadrada opcional en línea,detección, prueba de hidrofilia, detección de piezas faltantes y detección de piezas de agua ● Soporte opcional interfaz MES y función de depuración remota ● Estadísticas OEE y análisis de consumo de energía ● Chupón de cerámica, engranaje superior de inserción rápida de cerámica ● Cuchilla de aire de división de iones estándar ● Soporte opcional función MES y función de diagnóstico remoto ● Interfaz inteligente IGV opcional ● Máquina inteligente, estadísticas OEE y función de análisis de consumo de energía