Máquina de deposición PE-CVD PD-520

solar

Se utiliza principalmente para generar revestimientos antirreflectantes de máxima calidad en la producción de células solares de silicio cristalino, y para la deposición de la película de pasivación en la cara posterior de las células solares. Barco de grafito y obleas listo→ Entrada de nitrógeno→ Carga del barco de grafito en→ Vacío, prueba de presión → Pre-limpieza y comprobación de amoníaco→ Vacío del tubo, comprobación de fugas, temperatura constante→ Pre-revestimiento → Revestimiento→ Vacío, prueba de presión→ Limpieza del tubo y entrada de nitrógeno→ Descarga del barco de grafito. - Compatible con el proceso SiOxNy PERC. - Tecnología de sellado de bridas de agua de refrigeración doble. - Tecnología patentada de calentamiento interno. - Mecanismo de empuje del bote del módulo integral de alta velocidad. - Barco de grafito sin contacto con el tubo de cuarzo. - Software MES con derecho de propiedad intelectual independiente. - Sistema CCC desarrollado de forma independiente - Tecnología de recubrimiento rápido. - Protección de alarma por sobrecalentamiento, rotura de termopar y colisión con el barco.