Equipo de difusión/oxidación/reconocimiento horizontal
El equipo se utiliza principalmente para dopar y formar uniones PN en obleas de silicio en el proceso de fabricación de células solares de silicio cristalino.
Preparar el bote de cuarzo y las obleas→ Insertar las obleas→ Cargar las obleas→ Elegir la receta → Carga del bote→ Tubo de vacío→ Aumento de la temperatura→ Entrada de oxígeno→ Entrada de Pocl3→ Empuje→ Tratamiento DOA→ Descarga del bote→ Enfriamiento→ Pruebas→ Descarga de las obleas.
- Difusión, oxidación y recocido a baja presión.
- Solución tecnológica de alta resistencia de la hoja.
- Tecnología patentada, disponible para la difusión de boro.
- Estructura única de la puerta del horno de doble capa.
- Tecnología patentada para el sistema de tratamiento de los gases de escape.
- Mecanismo de empuje del bote del módulo integral de alta velocidad.
- Tecnología de estabilización de la presión de la fuente de aire de alta precisión.
- Control automático inteligente.
- Software MES con derecho de propiedad intelectual independiente.
- Protección por alarma de sobrecalentamiento, rotura de termopar y colisión de embarcaciones.
- Solución de fábrica inteligente Match S.C.
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