Recocido DOA-320L

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Descripción

Nombre del equipo - Equipo de difusión/oxidación/reconocimiento horizontal Modelo de equipo - DOA-320L/ DOA-420 Aplicación del equipo - El equipo se utiliza principalmente para dopar y formar uniones PN en obleas de silicio en el proceso de fabricación de células solares de silicio cristalino. Pasos de procesamiento - Preparar el bote de cuarzo y las obleas→ Insertar las obleas→ Cargar las obleas→ Elegir la receta → Carga del bote→ Tubo de vacío→ Aumento de la temperatura→ Entrada de oxígeno→ Entrada de Pocl3→ Empuje→ Tratamiento DOA→ Descarga del bote→ Enfriamiento→ Pruebas→ Descarga de las obleas. Características - Difusión, oxidación y recocido a baja presión. - Solución tecnológica de alta resistencia de la chapa. - Tecnología patentada, disponible para la difusión de boro. - Estructura única de la puerta del horno de doble capa. - Tecnología patentada para el sistema de tratamiento de los gases de escape. - Mecanismo de empuje del bote del módulo integral de alta velocidad. - Tecnología de estabilización de la presión de la fuente de aire de alta precisión. - Control automático inteligente. - Software MES con derecho de propiedad intelectual independiente. - Protección por alarma de sobrecalentamiento, rotura de termopar y colisión de embarcaciones. - Solución de fábrica inteligente Match S.C.

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* Los precios no incluyen impuestos, gastos de entrega ni derechos de exportación. Tampoco incluyen gastos de instalación o de puesta en marcha. Los precios se dan a título indicativo y pueden cambiar en función del país, del coste de las materias primas y de los tipos de cambio.