·Rendimiento: 600 unidades/lote, 14 400 unidades/h (oblea de 210 mm); 720 unidades/lote, 17 280 unidades/h (oblea de 182 mm);
·Volumen de circulación del baño de proceso ajustable;
·Textura piramidal uniforme, profundidad de grabado ajustable;
·Espesor de la oblea de hasta 120 µm;
·Con zona de secado limpia y sistema de secado autolimpiante;
·Bajo consumo de H₂O₂;
· Cambio rápido de baño en línea;
· Disponible con MES y sistema RFID; prueba de peso en línea opcional.
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