Almacén automático vertical

para cajaspara sala blancade alta densidad

Descripción general
Solución de almacenamiento automatizado de alta densidad para producción de semiconductores, diseñada para maximizar la utilización del espacio vertical e integrarse con los sistemas de manipulación de material de la planta.

Características clave

• Despliegue rápido con enseñanza y prueba automatizada del nivel de material
• Almacenamiento de alta densidad que maximiza el espacio en planta y vertical
• Diseñado para fábricas de 300 mm
• Compatible con ARV, OHT, OHS y procesos manuales
• Integración con sistemas de gestión de materiales en taller
• Conformidad de sala limpia: ISO14644-14, SEMI S2 y normas ESD

Stocker — Introducción de la aplicación
Solución automatizada de almacenamiento y gestión de inventario para líneas de producción de semiconductores, permitiendo buffering en línea y manejo seguro de obleas y portadores.

Aplicable a

• Almacenamiento de alta densidad y uso completo del espacio vertical
• Tiempos de ciclo rápidos y flujo de material reactivo
• Integración en el sistema de gestión de materiales del taller
• Implementación rápida con enseñanza y prueba automatizada del nivel
• Compatibilidad con procesos automáticos ARV/OHT/OHS y manuales
• Cumplimiento con Cleanroom ISO14644-14, SEMI S2 y normas ESD

E-RACK/TT — Introducción de funciones

• Almacenamiento en línea para semiconductores compatible con FOUP, CASSETTE, Magazine y Tray
• Interconexión con ARV y posibilidad de carga/descarga manual
• Interfaz de software SEMI estándar y diseño modular
• Cumple con Cleanroom ISO14644-14, SEMI S2 y normas ESD

Especificaciones

• Aplicación: almacenamiento y gestión automatizada de materiales para producción de semiconductores
• Portadores compatibles: FOUP, CASSETTE, Magazine, Tray
• Compatibilidad: ARV/OHT/OHS y carga/descarga manual
• Conformidad sala limpia: ISO14644-14
• Normas: conforme a SEMI S2
• Protección ESD: cumple normas ESD
• Diseño: modular
• Despliegue: implementación rápida con capacidad de enseñanza/prueba automática del nivel
• Tamaño objetivo de oblea: 300 mm
• Beneficios principales: almacenamiento de alta densidad y optimización del espacio vertical