Máquina de recubrimiento al vacío para la electrónica Sybilla

Presentación
Gama de máquinas para el depósito de capas ultrafinas de parileno. La serie Sybilla está desarrollada para el depósito de parileno por CVD, con soluciones a medida adaptadas a diversas necesidades y aplicaciones industriales.

Tecnologías y sistemas

• Tecnologías de depósito de parileno desarrolladas en colaboración con Coat-X.
• Sistemas de depósito a baja temperatura para el recubrimiento de dispositivos electrónicos, médicos o semiconductores: CX-30/300/600.
• Sistema innovador de depósito multicapa híbrido Parylene - ALD: CXC-20.
• Módulo ALD y módulo PVD opcionales conectados mediante un sistema de transferencia automatizado.

Funciones y aplicaciones

• Recubrimientos protectores ultrafinos para componentes electrónicos, dispositivos médicos y sustratos semiconductores.
• Capacidades para depósitos multicapa y co‑depósitos (híbrido Parylene + ALD).
• Funcionamiento a baja temperatura adecuado para sustratos sensibles.

Documentación
Documentación técnica y folleto del producto disponibles para descarga desde la ficha del producto (archivo PDF).

Características / especificaciones técnicas

• Serie: Sybilla.
• Modelos / sistemas citados: CX-30 / CX-300 / CX-600 (indicados como CX-30/300/600); CXC-20 (sistema híbrido Parylene - ALD).
• Tecnología: depósito de parileno por CVD; solución híbrida Parylene + ALD.
• Módulos opcionales: módulo ALD, módulo PVD, transferencia automatizada entre módulos.
• Temperatura de funcionamiento: baja temperatura (adecuada para sustratos sensibles).
• Aplicaciones objetivo: electrónica, médico, semiconductores.