Máquina de deposición por pulverización catódica con magnetrón PVD

Presentación
Actualización para máquinas PVD. Ofrecemos actualizaciones de hardware y software para su máquina PVD. Actualización completa: calentador del porta-sustrato, cátodos magnetrón, regulación de gases reactivos, termorregulación de la cámara de vacío y software.

Gamas / modelos afectados
HF y MW6

Actualizaciones e intervenciones ofrecidas

• Calentamiento del porta-sustrato de 200 a 800 °C
• Adición de persianas, movimiento del porta-sustrato, medición de presión y temperatura
• Termorregulación de la cámara de vacío
• Renovación de cátodos magnetrón o fuentes de arco
• Regulación de gases reactivos mediante espectrometría óptica

Características / especificaciones técnicas

• Calentamiento en grafito para máquinas PVD por pulverización magnetrón
• Cátodos magnetrón con persianas para PVD por pulverización
• Tapa giratoria del porta-sustrato
• Rango de temperatura del porta-sustrato: 200 a 800 °C
• Mediciones integradas: presión y temperatura
• Termorregulación de la cámara de vacío
• Renovación posible: cátodos magnetrón o fuentes de arco
• Control de gases reactivos mediante espectrometría óptica