Sistema de medición de dimensiones críticas MT3000 VIS/UV

ópticorobotizadopara oblea

Superposición La superposición es un proceso para alinear la capa superior con la inferior. El error de superposición se define como la desviación entre estas dos capas. La medición del error de superposición es un proceso de imagen que consiste en calcular la desviación en dos marcas de superposición diferentes que, en su mayoría, se generan mediante procesos distintos y están compuestas de materiales diferentes. Para la medición de superposiciones, se admiten las estructuras Box-in-Box, Frame-in-Frame, L-Bars, Circle-in-Circle, Cross-in-Cross o personalizadas. Dimensión crítica La medición óptica es una técnica de medición sin contacto, no destructiva, precisa y rápida. La anchura de la estructura puede calcularse extrayendo la información de intensidad de las imágenes. Las imágenes de intensidad deben procesarse para evitar interferencias por ruido o deformación. El sistema de metrología de TZTEK ofrece la función de eliminar dichas interferencias. Para una anchura de estructura inferior a 0,7 μm, puede aplicarse luz UV. Espesor de película El sistema está diseñado para medir el espesor de películas dieléctricas transparentes o semitransparentes (resistencias) de hasta tres capas. La función de calibración automática está integrada. características principales -Medición de dimensiones críticas, superposición -Personalización disponible para OC, SMIF y FOUP -Disponible para el tamaño de oblea 200/300 mm y la combinación -Luz visible y luz UV opcionales -SECS/GEM