Elemento calefactor plano

de nitruro de boro pirolítico

Elemento Como sustrato para el elemento calefactor de PBN se utiliza nitruro de boro pirolítico de alta pureza y alto rendimiento. El grafito pirolítico (PG) se coloca en la superficie de las placas de PBN mediante el método CVD como conductor y calentador. Como tanto el PG como el PBN son extremadamente puros y muy estables en el vacío o en una atmósfera inerte, el elemento calefactor PBN-PG podría ser muy duradero y mantener limpia la cámara. Podría calentarse hasta 1600°C en muy poco tiempo sin emisión de ningún componente gaseoso. Estos elementos calefactores son productos ideales para la industria de semiconductores y aplicaciones que requieren alta temperatura, alto vacío y alta pureza.