Sonda de oxígeno

para la electrónicade mediciónde membrana

Información general
La sonda de vacío ZIROX utiliza una celda de electrólito sólido de circonia (ZrO2) en modo potenciométrico como elemento de medida. Se genera una tensión entre el electrodo de medida y el electrodo de referencia, proporcional al logaritmo de la relación de presiones parciales de oxígeno, que puede convertirse en presión parcial de oxígeno mediante la ecuación de Nernst. La cabeza de conexión integra el control del calentador, la electrónica de tratamiento de señal y una bomba de membrana interna para el suministro de gas de referencia.

Aplicaciones
La sonda está destinada a la determinación de presiones parciales de oxígeno en equipos de baja presión. Usos típicos: procesos al vacío como PVD, sputtering magnetrón y otros procesos de plasma o tratamientos de superficie, así como estudios en ciencia de materiales.

Nota sobre calibración
A diferencia de las sondas ZIROX para presión normal, la sonda para vacío no es libre de calibración debido a la ubicación interna del calentador y a las condiciones térmicas dependientes de la presión en el electrodo de medida (no se pueden garantizar electrodos isotermos). Para el control de proceso, la calibración empírica suele ser suficiente; para mediciones precisas el usuario debe realizar calibraciones de prueba.

Datos técnicos — Sonda para vacío

• Longitud de inserción: 140...300 mm
• Diámetro de la sonda: 6 mm (16 mm con tubo de protección)
• Masa: 1,5 kg
• Dimensiones de la cabeza de conexión: 150 x 63 x 35 mm
• Grado de protección: IP54
• Brida: KF40 (otras bridas a petición)
• Temperatura máxima en la brida: 60 °C
• Alimentación: 24 V DC ± 10 %
• Consumo de corriente: 1,2 A
• Potencia de calefacción: 30 W
• Rango de presión: 1,5 x 10^5 ... 1 x 10^-5 Pa
• Rango de tensión del sensor: 0...400 mV o 0...1200 mV (conmutables en placa)
• Rango de presión parcial de oxígeno: 1 x 10^5 ... 1 x 10^-21 Pa
• Señal de salida: 0–20 mA
• Precisión: < 5 % de error relativo (uso en proceso)
• Temperatura de trabajo del sensor: 700 °C (control electrónico)
• Offset (con funda de protección): -15...-20 mV
• Tasa de fuga de He: < 10^-8 mbar·L/s
• Velocidad máxima del flujo de gas: 10 m/s
• Gas de referencia: aire ambiente
• Flujo de gas de referencia (bomba interna): aprox. 5...10 L/h

Asignación de pines
Tipo de conector: Tipo 423, 6 polos, Binder (N.º pedido: 99-5622-15-06)

• 1: +24 V
• 2: GND
• 3: + Iout (20 mA corresponde a 400 o 1200 mV según ajuste)
• 4: - Iout
• 5: Contacto Ready (libre de potencial) — 60 V/1 A DC o 125 V/1 A AC
• 6: (sin asignación)