Caudalímetros HORIBA

Flujo volumétrico: 0 l/min - 0,1 l/min
Temperatura de proceso: 0 °C - 80 °C
Presión de proceso: 1,1 bar - 3,5 bar

... Los procesos críticos de fabricación de semiconductores requieren continuamente dispositivos de control de flujo de gas de precisión que permitan tanto la innovación futura como la transición del laboratorio a la fábrica de dispositivos lógicos y de memoria ...

Temperatura de proceso: 0 °C - 80 °C
Presión de proceso: 0,13 bar - 4 bar
Repetibilidad: 0,01 % - 0,3 %

... El D700WR instala un nuevo restrictor diseñado específicamente para una aplicación de control de amplio rango con un rendimiento de alta precisión basado en la tecnología CRITERION™. El D700WR puede controlar el caudal hasta el 0,1% del rango de escala ...

Temperatura de proceso: 0 °C - 80 °C
Presión de proceso: 3,5 bar - 7,5 bar
Repetibilidad: 0,03 % - 0,3 %

... Este vanguardista módulo de flujo másico insensible a la presión se instala con detección de presión diferencial y una válvula actuadora piezoeléctrica. El alto nivel de rendimiento proporcionado por el CRITERION D500 garantiza que pueda utilizarse para ...

Temperatura de proceso: 15 °C - 45 °C
Presión de proceso: 2,4 bar - 4,12 bar

... D700uF(Micro Flow) está diseñado para ≤ 5SCCM aplicación de flujo. el control de flujo ≤ 5SCCM ha sido muy crítico en procesos de alta relación de aspecto Los componentes especializados y el nuevo estándar de bajo flujo desarrollado internamente permiten ...

Temperatura de proceso: 15 °C - 60 °C
Presión de proceso: 2,4 bar - 3,5 bar

... D700T es el módulo de caudal másico insensible a la presión de mejor rendimiento diseñado para procesos críticos de fabricación de semiconductores. El D700T adapta la tecnología de medición y control de flujo basada en la presión HORIBA CRITERION para ...

Flujo volumétrico: 0,1, 0,3 l/min
Presión de proceso: 0,5 bar - 4 bar
Repetibilidad: 0,15, 0,01 %

... La serie SEC-Z700S está equipada con sensores térmicos de nuevo desarrollo y una función insensible a la presión para un control estable del caudal. La medición de la presión a bordo reduce el coste, el tamaño y la complejidad de los sistemas de suministro ...

... HORIBA STEC, Co., Ltd. anunció el 14 de enero el lanzamiento del DZ-107 como último modelo de su serie de controladores de caudal másico ultrafinos. Este producto aumenta el caudal a escala completa*1 aproximadamente siete veces más que los modelos anteriores ...

Flujo volumétrico: 0 us gal/min - 100 us gal/min
Temperatura de proceso: 5 °C - 50 °C
Presión de proceso: 0,5 bar - 3 bar

... realizar mediciones precisas del caudal. Estructura/Principio de funcionamiento Tanto la serie LV-F como la serie LF-F de caudalímetros másicos utilizan el mismo principio de medición. El LV-F tiene además una válvula actuadora piezoeléctrica ...