Caudalímetro másico térmico D500 series

de presión diferencialpara gasen línea

Módulo de flujo másico insensible a la presión Este módulo de flujo másico insensible a la presión de vanguardia se instala con detección de presión diferencial y una válvula de actuador piezoeléctrico. El alto nivel de rendimiento proporcionado por el CRITERION D500 garantiza que pueda utilizarse para una serie de procesos avanzados de fabricación de semiconductores; función de autodiagnóstico insensible a la presión, multirrango/multigas/multipresión, G-LIFE (comprobación de la ley del gas de la ecuación de restricción de flujo integrada), alta precisión, respuesta rápida, amplio rango y totalmente metálico Rendimiento insensible a la presión Una nueva función insensible a la presión de alto rendimiento proporciona un sistema de suministro de gas simplificado Solución multirrango, multigas y multipresión Las nuevas funciones permiten al usuario cambiar el tipo de gas, el caudal a escala completa y el rango de presión de suministro Función de autodiagnóstico G-LIFE (comprobación de la ley del gas de la ecuación de restricción de flujo integrada) La función avanzada de supervisión del estado del proceso permite a los operarios realizar sus propias pruebas, normalmente en tres segundos o menos, para mejorar el rendimiento Alta precisión La precisión del caudal de gas de proceso se ha mejorado con un avanzado ajuste tridimensional Respuesta rápida Respuesta < 0,8 segundos Se puede lograr un control de flujo preciso y estable Rango dinámico Amplio rango de control: 0.2% F.S. a 100% F.S. "Recientemente, con el aumento de la aplicación de un dispositivo semiconductor según IoT, las últimas fábricas de semiconductores se centran en minimizar el tiempo de inactividad del aparato. Por lo tanto, con el fin de la pre-detección de fallos de las herramientas de semiconductores y sus componentes, los parámetros gestionados del proceso de semiconductores se incrementan, y su especificación es cada vez más estricta.