Caudalímetros másicos HORIBA

Flujo volumétrico: 0 l/min - 0,1 l/min
Temperatura de proceso: 0 °C - 80 °C
Presión de proceso: 1,1 bar - 3,5 bar

... Los procesos críticos de fabricación de semiconductores requieren continuamente dispositivos de control de flujo de gas de precisión que permitan tanto la innovación futura como la transición del laboratorio a la fábrica de dispositivos lógicos y de memoria ...

Temperatura de proceso: 0 °C - 80 °C
Presión de proceso: 0,13 bar - 4 bar
Repetibilidad: 0,01 % - 0,3 %

... El D700WR instala un nuevo restrictor diseñado específicamente para una aplicación de control de amplio rango con un rendimiento de alta precisión basado en la tecnología CRITERION™. El D700WR puede controlar el caudal hasta el 0,1% del rango de escala ...

Temperatura de proceso: 0 °C - 80 °C
Presión de proceso: 3,5 bar - 7,5 bar
Repetibilidad: 0,03 % - 0,3 %

... Este vanguardista módulo de flujo másico insensible a la presión se instala con detección de presión diferencial y una válvula actuadora piezoeléctrica. El alto nivel de rendimiento proporcionado por el CRITERION D500 garantiza que pueda ...

Temperatura de proceso: 15 °C - 45 °C
Presión de proceso: 2,4 bar - 4,12 bar

... D700uF(Micro Flow) está diseñado para ≤ 5SCCM aplicación de flujo. el control de flujo ≤ 5SCCM ha sido muy crítico en procesos de alta relación de aspecto Los componentes especializados y el nuevo estándar de bajo flujo desarrollado internamente permiten ...

Temperatura de proceso: 15 °C - 60 °C
Presión de proceso: 2,4 bar - 3,5 bar

... D700T es el módulo de caudal másico insensible a la presión de mejor rendimiento diseñado para procesos críticos de fabricación de semiconductores. El D700T adapta la tecnología de medición y control de flujo basada en la presión HORIBA ...

Flujo volumétrico: 0,1, 0,3 l/min
Presión de proceso: 0,5 bar - 4 bar
Repetibilidad: 0,15, 0,01 %

... tienen un regulador de línea, un sensor de presión y un filtro para evitar el fenómeno de diafonía del regulador de caudal másico causado por las fluctuaciones de presión. La serie SEC-Z700S demuestra una gran estabilidad y controla ...

... último modelo de su serie de controladores de caudal másico ultrafinos. Este producto aumenta el caudal a escala completa*1 aproximadamente siete veces más que los modelos anteriores y alcanza un caudal másico máximo ...

Flujo volumétrico: 0 us gal/min - 100 us gal/min
Temperatura de proceso: 5 °C - 50 °C
Presión de proceso: 0,5 bar - 3 bar

... mediciones precisas del caudal. Estructura/Principio de funcionamiento Tanto la serie LV-F como la serie LF-F de caudalímetros másicos utilizan el mismo principio de medición. El LV-F tiene además una válvula actuadora ...