Caudalímetros térmicos HORIBA

Flujo volumétrico: 0 l/min - 0,1 l/min
Temperatura de proceso: 0 °C - 80 °C
Presión de proceso: 1,1 bar - 3,5 bar

... Los procesos críticos de fabricación de semiconductores requieren continuamente dispositivos de control de flujo de gas de precisión que permitan tanto la innovación futura como la transición del laboratorio a la fábrica de dispositivos lógicos y de memoria ...

Temperatura de proceso: 0 °C - 80 °C
Presión de proceso: 0,13 bar - 4 bar
Repetibilidad: 0,01 % - 0,3 %

... El D700WR instala un nuevo restrictor diseñado específicamente para una aplicación de control de amplio rango con un rendimiento de alta precisión basado en la tecnología CRITERION™. El D700WR puede controlar el caudal hasta el 0,1% del rango de escala ...

Temperatura de proceso: 0 °C - 80 °C
Presión de proceso: 3,5 bar - 7,5 bar
Repetibilidad: 0,03 % - 0,3 %

... Este vanguardista módulo de flujo másico insensible a la presión se instala con detección de presión diferencial y una válvula actuadora piezoeléctrica. El alto nivel de rendimiento proporcionado por el CRITERION D500 garantiza que pueda utilizarse para ...

Temperatura de proceso: 15 °C - 45 °C
Presión de proceso: 2,4 bar - 4,12 bar

... D700uF(Micro Flow) está diseñado para ≤ 5SCCM aplicación de flujo. el control de flujo ≤ 5SCCM ha sido muy crítico en procesos de alta relación de aspecto Los componentes especializados y el nuevo estándar de bajo flujo desarrollado internamente permiten ...

Flujo volumétrico: 0,1, 0,3 l/min
Presión de proceso: 0,5 bar - 4 bar
Repetibilidad: 0,15, 0,01 %

... La serie SEC-Z700S está equipada con sensores térmicos de nuevo desarrollo y una función insensible a la presión para un control estable del caudal. La medición de la presión a bordo reduce el coste, el tamaño y la complejidad de los ...

... la anchura única de 10 mm del DZ-100 lanzado en 2020. Esto incluye el aumento del caudal a escala completa y el rango de temperatura de funcionamiento, además de la compatibilidad con EtherCAT®*5. *1 Caudal máximo que el dispositivo ...

Flujo volumétrico: 0 us gal/min - 100 us gal/min
Temperatura de proceso: 5 °C - 50 °C
Presión de proceso: 0,5 bar - 3 bar

... líquidos que utilizan un elemento Peltier que enfría el líquido en lugar de utilizar el método más habitual de calentamiento térmico. Esta técnica elimina el riesgo de que hiervan productos químicos con un punto de ebullición bajo, lo ...