Máquina de deposición por pulverización catódica con magnetrón DEIMOS 5500

para espejo

Resumen
El DEIMOS 5500 es un equipo de recubrimiento al vacío para óptica de precisión basado en sputtering magnético, diseñado para aplicar capas protectoras y mejoradas de aluminio o plata sobre grandes espejos astronómicos, garantizando alta reflectancia, uniformidad y durabilidad del recubrimiento.

Ventajas clave

• Uniformidad de recubrimiento — la inclinación y la distancia de cada blanco son ajustables eléctricamente para adaptarse a sustratos curvos y obtener capas Al/Ag protegidas o mejoradas uniformes.
• Manipulación rápida de sustratos — sistema de rieles que permite desplazar la mitad inferior de la cámara fuera del bastidor para acceso total y cambio de sustrato rápido.
• Modos de alimentación flexibles — cuatro blancos de pulverización con opción de corriente continua pulsada o continua según el proceso requerido.

Características destacadas

• Inclinación de cátodo móvil — cada blanco puede moverse e inclinarse; los accionamientos eléctricos permiten posiciones reproducibles y los ajustes pueden guardarse en la receta de producción.
• Prelimpieza por descarga MF o DC — unidades de descarga integradas para limpieza controlada de la cámara y eliminación de humedad; ciclos almacenables en la receta.
• Diseño accesible — la mitad inferior de la cámara sobre rieles facilita el acceso a sustratos, blancos y componentes, especialmente para diámetros grandes (hasta 4,5 m), simplificando operación y mantenimiento.

Aplicaciones
Diseñado para recubrimientos en espejos astronómicos y otros espejos ópticos de precisión de gran tamaño, usando capas de aluminio o plata protegidas o mejoradas donde la reflectancia, uniformidad y durabilidad son requisitos críticos.

Características / especificaciones técnicas

• Modelo: DEIMOS 5500
• Proceso: sputtering magnético / recubrimiento al vacío para óptica de precisión
• Materiales de recubrimiento: aluminio (Al) y plata (Ag) — capas protegidas y mejoradas
• Número de blancos: 4
• Opciones de alimentación: DC pulsada o DC
• Ajuste de blancos: inclinación y distancia blancos-substrato ajustables eléctricamente; posiciones guardables en receta
• Prelimpieza: unidades de descarga MF o DC integradas para eliminación de humedad y limpieza; ciclos guardables
• Manipulación de sustratos: mitad inferior de la cámara sobre rieles para acceso total y cambio rápido
• Diámetro máximo de sustrato soportado: hasta 4,5 m
• Uso previsto: espejos astronómicos y óptica de precisión que requieren alta reflectancia, uniformidad y durabilidad
• Operación y mantenimiento: acceso facilitado a blancos, sustratos y componentes para mantenimiento y repetibilidad basada en recetas