Máquina de deposición por pulverización catódica de metalización FLC

para aplicaciones automóviles

Resumen
La serie LEYBOLD OPTICS FLC son sistemas de deposición por pulverización (sputter) roll-to-roll en alto vacío, pensados para I+D y producción. Con configuración modular y hasta seis cátodos rotatorios, permiten el depósito en un solo paso de apilamientos metálicos y dieléctricos y están disponibles en anchos de recubrimiento de 650 mm, 1600 mm y 2000 mm.

Ventajas clave

• Deposición multicapa en un solo paso mediante separación de gases opcional entre secciones de proceso, permitiendo apilamientos metal/dieléctrico en una sola pasada.
• Configuración flexible: hasta seis cátodos rotatorios, varias opciones de alimentación, metrología in situ, pretratamiento por plasma y sistemas de bobinado configurables para distintos substratos y procesos.
• Cambios rápidos entre aplicaciones mediante intercambio de dianas y recetas con mínimas modificaciones de hardware, apto para I+D y producción piloto.

Características destacadas

• Versatilidad: compatibilidad con DC, DC pulsado unipolar, DC pulsado bipolar y alimentación MF para procesos reactivos y no reactivos.
• Control de partículas y estabilidad de proceso: orientación sputter-up de los cátodos, bombas turbomoleculares, trampas frías y tambor de recubrimiento con control de temperatura (estándar -15 a +80 °C).
• Mantenimiento: diseño con acceso a componentes clave para limpieza e intervenciones de mantenimiento.

Sustratos y materiales compatibles

• Sustratos: PET, PEN, PI, aluminio, acero inoxidable, cobre, vidrio flexible; diámetro de rollo de sustrato hasta 500 mm.
• Materiales de deposición: metales (Ag, Al, Cu, Cr, NiCr, Ti) y dieléctricos/óxidos (AZO, ITO, SiO2, SiN, SnO2, Nb2O5, TiO2).

Aplicaciones

• Recubrimientos conductores transparentes ITO para pantallas y paneles táctiles.
• Placas de circuito impreso flexibles (FPCB) y metallización de películas para condensadores tipo rodillo.
• Vidrio de baja emisividad (low-e) y vidrio inteligente, láminas electrocrómicas para acristalamientos arquitectónicos y automotrices.
• Recubrimientos funcionales para mejorar el rendimiento de baterías de iones de litio y otros materiales electrónicos avanzados.

Otras características / Especificaciones técnicas

• Familia de modelos: LEYBOLD OPTICS FLC series
• Tamaños / anchos de recubrimiento: 650 mm, 1600 mm, 2000 mm
• Ancho típico (ej. FLC 650): hasta 650 mm
• Diámetro máximo de rollo de sustrato: hasta 500 mm
• Rango de temperatura del tambor: estándar -15 °C a +80 °C
• Cátodos: hasta seis cátodos rotatorios; orientación sputter-up
• Fuentes de alimentación compatibles: DC, DC pulsado unipolar, DC pulsado bipolar, MF
• Equipo de vacío: bombas turbomoleculares y trampas frías
• Opciones de proceso: separación de gases entre secciones, pretratamiento por plasma, medición de capa in situ, control de proceso en lazo cerrado, sistema de bobinado configurable