Sistema de posicionamiento arquitectura apilada CHARON2

6 ejesde un eje3 ejes

La plataforma CHARON2 está construida sobre una arquitectura robusta, fiable y elegantemente apilada, diseñada teniendo en cuenta los principios de modularidad y escalabilidad. Se parte de un eje X autónomo hasta un sistema de movimiento completo de hasta 7 ejes. Las hojas de datos de rendimiento están disponibles con diferentes configuraciones electrónicas Su compatibilidad con los módulos y opciones actuales y futuros permite cubrir el más amplio espacio de aplicación y casos de uso. Esta plataforma flexible, escalable, modular y actualizable ofrece un nivel de entrada a todas las aplicaciones de semiconductores y muchos casos de uso de otros mercados, por ejemplo, el médico, el farmacéutico, la ciencia de los materiales y otros En continua evolución en todos los mercados atendidos, la plataforma CHARON2 soporta la extensión de la vida útil de los productos de los fabricantes de equipos originales, así como las rutas de actualización. Su precisión de posición de ±1 µm de nivel, junto con una excelente repetibilidad bidireccional y una alta dinámica, sustenta el desarrollo de aplicaciones en todos los campos de la tecnología y la industria. Características - Carrera total : hasta 650 mm x 410 mm - Disponible en 9 estándares x 2 electrónicas = 18 configuraciones como productos de venta al público - Tamaño compacto - Carga útil hasta 30 Kg - Opciones y características incluidas: rieles de succión de partículas (patente ETEL), señales personalizadas, líneas neumáticas y más. - Compatibilidad con salas blancas ISO1 - Corrección de inclinación con el módulo combinado Z3TM - Suministro de vacío incorporado a nivel del mandril - Tiempos de traslado y liquidación cortos Especificaciones principales - Precisión de la posición: ±1 µm para XY y ±3 arcosegundos para T - Estabilidad de posición: ±2 nm para XY, ±0,02 arcosegundo para T y ±3 nm para Z fino - Repetibilidad bidireccional: ±0,4 µm para XY, ±2 arcosegundo para T y ±0,03 µm para Z fino