Eje rotativo de accionamiento directo DXRH

para semiconductorde precisión

El DXRH es la última incorporación a las soluciones de ejes rotativos de ETEL. Este es un eje giratorio de un grado de libertad basado en rodamientos mecánicos que proporciona un rendimiento excepcional en términos de exactitud y precisión. Con un codificador de 360.000 líneas y características mecánicas sin par, directamente comparables con la solución de cojinetes de aire, pero sin la complejidad asociada, el DXRH está asistido en su núcleo por la mejor tecnología de cojinetes y codificadores de HEIDENHAIN, y por la tecnología ETEL de motores directos sin dientes sin rizado de par alguno. Totalmente compatible con las interfaces ETEL estándar, el módulo DXRH está disponible como módulo independiente o integrado con el repertorio de sistemas ETEL. También proporciona una vía de mejora de prestaciones para todas las aplicaciones basadas en DXR+, sin ningún rediseño, ya que las interfaces son idénticas. El módulo rotativo DXRH se puede integrar en las plataformas apiladas CHARON2 y VULCANO2. Aporta alta rigidez, alta exactitud, alta precisión, alto nivel de limpieza y baja deformación inducida térmicamente gracias a su diseño de acero inoxidable. Enfocado a facilitar las aplicaciones de semiconductor, el módulo sigue siendo compatible con todos los diversos mercados y necesidades que requieren soluciones para rotaciones de alta exactitud y alta precisión. Adecuado para diversas aplicaciones e industrias, el módulo giratorio DXRH es especialmente adecuado para aplicaciones de control de proceso de obleas, tales como la metrología de superposición, dimensión crítica y metrología de película fina, así como en fotónica.