Resina para semiconductores i-Line

para la electrónicafotosensiblede alto rendimiento

Descripción general
Serie de fotorresistes sensibles al mid-UV formulada para el patronado en una amplia gama de resoluciones (desde <0,30 µm hasta >1,0 µm) y espesores de película en substratos no reflectantes, reflectantes y de alta reflectividad.

Línea de productos

• Resistes i-Line para substratos no reflectantes
  Familias de resist diseñadas para impresión de CD críticos en substratos no reflectantes:
  • OiR 620 series
  • OiR 674 series
• Resistes i-Line para substratos reflectantes
  Series con opciones de fotosensibilidad rápidas para resoluciones avanzadas en substratos reflectantes:
  • OiR 674 series
  • GiR 1102 series
• Resistes i-Line de alta resolución multiuso
  Series que ofrecen las opciones de fotospeed más rápidas para alto rendimiento y patronado de alta resolución:
  • GiR 2700 series
  • OiR 305 series
  • OiR 906 series
  • OiR 907 series
• Resistes crossover g- e i-Line y banda ancha
  Resistes aptos para g-line, i-line y banda ancha (>800 nm CD):
  • HiPR 6500 series
  • HPR 510 series
• Resistes teñidos para substratos de alta reflectividad
  Formulaciones no blanqueantes que proporcionan alta densidad óptica para el control de CD y notching:
  • OiR 906HD
  • OiR 305HC
  • HiPR 6500GH
  • HiPR 6500HC
• Resistes i-Line para aplicaciones de mayor espesor
  Series diseñadas para patronado de películas gruesas (3–13 µm):
  • FHi-560EP
  • GiR 3114
  • OiR 305
  • OiR 908

Características y beneficios
Opciones completas de resist mid-UV que cubren rangos críticos y no críticos de CD, compatibilidad con múltiples tipos de substratos y amplias ventanas de espesor de película, con opciones de compromisos entre fotospeed y resolución según la serie.

Especificaciones técnicas

• Sensibilidad: mid-UV (i-line / g-line / broadband)
• Resolución objetivo: <0,30 µm a >1,0 µm según la serie
• Compatibilidad de substratos: no reflectante, reflectante y alta reflectividad
• Series representativas: OiR 620, OiR 674, GiR 1102, GiR 2700, OiR 305, OiR 906, OiR 907, HiPR 6500, HPR 510, OiR 906HD, OiR 305HC, HiPR 6500GH, HiPR 6500HC, FHi-560EP, GiR 3114, OiR 908
• Control de CD y notching para substratos altamente reflectantes (series teñidas)
• Rango de espesor de película para aplicaciones gruesas: 3 µm a 13 µm
• Opciones de fotospeed rápido y alta resolución (>500 nm CD) según la serie