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Resina fotosensible ArFpara semiconductores
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Características
- Aplicaciones
- para semiconductores
- Otras características
- fotosensible
Descripción
Materiales para imágenes positivas en seco y por inmersión, e imágenes negativas tonales (NTI)
Características y ventajas
Amplia gama de sistemas de captura de imágenes de alta resolución para exposición a 193 nm, incluyendo captura de imágenes positivas en seco y por inmersión, y captura de imágenes de tono negativo (NTI)
- Alto rendimiento
- Resolución superior
- Amplias ventanas de proceso
- Bajos niveles de defectos
- Perfiles verticales
- Serie GAR
Los productos de la serie GAR son adecuados para diversas aplicaciones que requieren una exposición en seco de 193 nm.
- Serie FAiRS para PTI (imágenes de tono positivo)
Los productos de la serie FAiRS son adecuados para una variedad de aplicaciones que requieren una exposición de inmersión de 193 nm e imágenes de tono positivo.
- Serie FAiRS para NTI (imágenes de tono negativo)
Los productos de la serie FAiRS son adecuados para diversas aplicaciones que requieren exposición por inmersión a 193 nm e imágenes de tono negativo.
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Catálogos
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