Caudalímetros para gas HORIBA

Flujo volumétrico: 0 l/min - 0,1 l/min
Temperatura de proceso: 0 °C - 80 °C
Presión de proceso: 1,1 bar - 3,5 bar

... Los procesos críticos de fabricación de semiconductores requieren continuamente dispositivos de control de flujo de gas de precisión que permitan tanto la innovación futura como la transición del laboratorio a la fábrica de dispositivos ...

Temperatura de proceso: 0 °C - 80 °C
Presión de proceso: 0,13 bar - 4 bar
Repetibilidad: 0,01 % - 0,3 %

... el 0,1% del rango de escala completa, lo que ayuda a los usuarios a optimizar la flexibilidad del sistema de suministro de gas. Por ejemplo, si el sistema instala múltiples MFC para el control de caudal alto y bajo, los usuarios pueden ...

Temperatura de proceso: 0 °C - 80 °C
Presión de proceso: 3,5 bar - 7,5 bar
Repetibilidad: 0,03 % - 0,3 %

... Insensitive de alto rendimiento proporciona un sistema de suministro de gas simplificado Solución multirrango, multigas y multipresión Las nuevas funciones permiten al usuario cambiar el tipo de gas, el caudal a escala ...

Temperatura de proceso: 15 °C - 45 °C
Presión de proceso: 2,4 bar - 4,12 bar

... flujo de alta precisión de hasta 0,025SCCM. Capacidad de control de caudal de hasta 0,025SCCM Control preciso del gas de sintonización, mejora la sintonizabilidad del proceso ≤ Respuesta escalonada de 100 ms y control ...

Temperatura de proceso: 15 °C - 60 °C
Presión de proceso: 2,4 bar - 3,5 bar

... de un algoritmo de control de flujo avanzado patentado con estructura de doble válvula que permite al sistema de suministro de gas del cliente resolver múltiples desafíos. ≤ 100 mseg de tiempo de estabilización rápida en toda la gama ...

Flujo volumétrico: 0,1, 0,3 l/min
Presión de proceso: 0,5 bar - 4 bar
Repetibilidad: 0,15, 0,01 %

... coste, el tamaño y la complejidad de los sistemas de suministro de gas. Una nueva función de alto rendimiento proporciona un sistema de suministro de gas simplificado. Las líneas de gas multicámara típicas ...

... anchura ultrafina de 10 mm. La DZ-107 también aumenta la temperatura máxima de funcionamiento de 45 °C a 60 °C para admitir los gases utilizados en el proceso de fabricación de precisión de semiconductores de vanguardia. Estas mejoras ...