Caja colectora de válvulas y armario/panel de gas (VMB/VMP)Descripción generalLos VMB (cajas colectoras de válvulas) y VMP (paneles colectores) son módulos para la distribución controlada de gases de alta pureza y gases especiales en entornos industriales. Dividen una fuente de gas única en múltiples salidas (típicamente 4–8) y están diseñados para operación y mantenimiento seguros al manipular gases peligrosos, reactivos o de ultra alta pureza en fabs de semiconductores, laboratorios y sistemas de distribución de gases especiales.
Características y aplicaciones- Configuraciones: armario cerrado para gases peligrosos/reactivos o panel abierto para gases inertes.
- Opciones de control: desde estaciones manuales hasta integración PLC totalmente automatizada.
- Sistemas de seguridad: vent/purga, generación de vacío, detección UV/IR, detectores de gas tóxico, válvulas de corte de emergencia, armarios y puertas a prueba de explosiones.
- Diseño de alta pureza: colectores soldados orbitalmente, carcasas purgeables y materiales compatibles con gases de calidad para semiconductores.
- Armarios especializados: armarios TMA para gases pirofóricos/altamente reactivos con rociadores, detección de fugas y extracción dedicada.
- Armarios para tratamiento de gases residuales (scrubber): filtración y depuración química para neutralizar subproductos peligrosos y cumplir con la normativa ambiental.
- Casos de uso típicos: fabs de semiconductores, suministro a granel de gases especiales, deposición en capas atómicas (ALD), laboratorios de investigación.
Datos técnicosModelo: JW-200-VMB, JW-100-VMB
Especificación: 4S / 6S / 8S
Tamaño armario especial: W870×D340×H1680
Alimentación del armario de control: 220VAC, 50Hz, 500W
Alimentación de calentamiento: 220VAC, 50Hz, 1–6kW
Purga: PN2, 1/4” MVCJ
Vacío: GN2, 1/4” MVCJ
Tubo de drenaje VENT: 1/2” MVCJ
Fuente de aire neumática: CDA driver, 1/4" SWG
Ventilación del armario: OD 100mm, 70 m3/hr
Equipamiento estándar: armario a prueba de explosiones, puerta auto‑bloqueante a prueba de explosiones, ventana de observación a prueba de explosiones, corte remoto
Interfaz de operación: pantalla táctil color de 7"
Opcional- UV/IR
- Calefacción de panel
- Módulo de comunicación Ethernet
- Interruptor de alta temperatura
- Detector de humo
Gases compatibles (ejemplos)SiH4, NF3, NH3, N2O, HCl (la selección depende de la configuración del armario y de los materiales en contacto)
Especificaciones técnicas- Marca: Jewellok
- Modelos: JW-200-VMB, JW-100-VMB
- Número de salidas / sticks: 4S / 6S / 8S
- Tamaño del armario especial: W870×D340×H1680
- Alimentación del armario de control: 220VAC, 50Hz, 500W
- Alimentación de calentamiento: 220VAC, 50Hz, 1–6kW
- Sistema de purga: PN2, 1/4” MVCJ
- Sistema de vacío: GN2, 1/4” MVCJ
- Tubo de drenaje VENT: 1/2” MVCJ
- Fuente de aire neumática: CDA driver, 1/4" SWG
- Ventilación del armario: OD 100mm, 70 m3/hr
- Equipamiento estándar: armario a prueba de explosiones, puerta auto‑bloqueante a prueba de explosiones, ventana de observación a prueba de explosiones, corte remoto
- Interfaz de operación: pantalla táctil color de 7"
- Opciones disponibles: detección UV/IR, calefacción de panel, módulo Ethernet, interruptor de alta temperatura, detector de humo
- Aplicaciones típicas: distribución de gases de alta pureza, armarios TMA para gases reactivos/pirofóricos, sistemas BSGS de alto caudal y tratamiento de gases residuales