Sistema de medición de dimensiones críticas SpectraShape™

dimensionalópticopara circuito integrado

Sistemas ópticos de medición de dimensiones críticas (CD) y formas El sistema de metrología dimensional SpectraShape™ 12k se utiliza para caracterizar y supervisar completamente las dimensiones críticas (CD) y las formas tridimensionales de nanohojas, finFET, DRAM y estructuras NAND apiladas verticalmente, así como otras características complejas en circuitos integrados en nodos de diseño de vanguardia. Gracias a importantes avances en tecnologías ópticas y algoritmos patentados, SpectraShape 12k identifica variaciones sutiles en los parámetros críticos de los dispositivos (dimensión crítica, receso de la puerta metálica y de alto k, ángulo de la pared lateral, altura de la resistencia, altura de la máscara dura, recorrido del paso, superposición en el dispositivo, etc.) en toda una gama de capas de proceso. Con una etapa mejorada y nuevos módulos de medición que permiten un funcionamiento de alto rendimiento, el SpectraShape 12k proporciona una rápida identificación de los problemas del proceso en línea, ayudando a las fábricas a acelerar las rampas de rendimiento y lograr una producción estable. Aplicaciones Monitorización de procesos en línea, Control de patrones, Ampliación de ventanas de proceso, Control de ventanas de proceso, Control avanzado de procesos (APC), Análisis de ingeniería Productos relacionados AcuShape®: Software de modelado avanzado que interpreta las señales de los sistemas SpectraShape, ayudando a acelerar el proceso de construcción de modelos de formas 3D robustos y utilizables. SpectraShape 10K: Sistemas ópticos de CD y metrología de formas que permiten medir características complejas para dispositivos de CI de memoria avanzada y lógica de 1Xnm. SpectraShape 9000: sistemas de CD óptico y metrología de formas que permiten medir características complejas para dispositivos de CI en los nodos de diseño de 20 nm e inferiores.