Sistema de medición de espesor Aleris®

espectroscópicopara films

El sistema de metrología de películas Aleris® 9350 ofrece mediciones fiables y de alta precisión del grosor, el índice de refracción, la tensión y la composición de las películas para una amplia gama de películas generales de lógica avanzada, DRAM y NAND 3D. Basado en nuestra última plataforma con una fuente de luz de alto brillo y sistemas ópticos actualizados, Aleris 9350 aprovecha la tecnología de elipsometría espectroscópica de banda ancha (BBSE) para ofrecer una productividad y un rendimiento líderes en el sector para aplicaciones de películas generales. Gracias a las funciones de portabilidad de recetas y adaptación entre plataformas, el sistema ofrece una solución completa para la cualificación y supervisión de diversas capas de película, lo que ayuda a las fábricas a mantener el control del proceso y acelerar el tiempo de producción. Análisis de ingeniería, Supervisión de procesos en línea, Supervisión de herramientas, Adaptación de herramientas de proceso Aleris 8330 El sistema de metrología de láminas Aleris 8330 es una solución de bajo coste de propiedad para láminas no críticas, incluidos dieléctricos intermetálicos, fotorresistencias, revestimientos antirreflectantes inferiores, óxidos y nitruros gruesos y capas de final de línea. Aleris 8350 El Aleris 8350 es un sistema de metrología de películas de alto rendimiento que cumple las tolerancias de proceso más estrictas requeridas para las mediciones de espesor, índice de refracción y tensión en películas críticas. El sistema de medición de espesor de películas Aleris 8350 se utiliza para el desarrollo avanzado de películas, la caracterización y el control de procesos para una amplia gama de películas críticas, incluidas capas de difusión ultrafinas, óxidos de puerta ultrafinos, fotorresistencias avanzadas, capas ARC de 193 nm, pilas multicapa ultrafinas y capas CVD. Aleris 8510 El Aleris 8510 amplía las mediciones de espesor de película de la familia Aleris, composición