Sistema de medición de temperatura SensArray®

automáticode herramientas

El paquete de gestión de procesos in situ SensArray® Automation proporciona una rápida recopilación automatizada de las mediciones de temperatura de la cámara de la herramienta de proceso, a la vez que proporciona una funcionalidad semiautomatizada para apoyar las puestas en marcha de la fábrica. El paquete SensArray Automation incluye la estación base de automatización AS1000, compatible con todos los productos SensArray inalámbricos de 300 mm, el FOUP compatible con carril aéreo (OHT), un controlador de automatización del sistema y componentes de software de oficina para PC. Las FOUP de SensArray pueden admitir dos productos SensArray distintos para una implantación flexible en la fábrica y pueden procesarse del mismo modo que cualquier FOUP de producción, con transferencia directa de datos a gráficos SPC. SensArray Automation proporciona mejoras de productividad que se traducen en una mayor disponibilidad de herramientas de proceso, un uso más eficaz de los recursos de ingeniería y un almacenamiento de datos centralizado en la base de datos MES de la fábrica. Aplicaciones Desarrollo de procesos, Cualificación de procesos, Supervisión de herramientas de proceso, Cualificación de herramientas de proceso, Adaptación de cámaras, Adaptación de herramientas de proceso