Sistema de medición de temperatura HighTemp™

para oblea

La serie HighTemp™ de sistemas de medición in situ de la temperatura de obleas, disponible en configuraciones de 300 mm y 200 mm, está diseñada para optimizar y supervisar procesos avanzados de películas (FEOL y BEOL ALD, CVD y PVD) y otros procesos de temperatura elevada. Las obleas inalámbricas HighTemp miden la uniformidad térmica de la herramienta de proceso, proporcionando una imagen completa de los datos temporales y espaciales de temperatura recogidos en tiempo real en las condiciones reales del proceso de producción. Al revelar las variaciones térmicas en aplicaciones como los entornos de plasma que pueden afectar a las ventanas de proceso y al rendimiento del patronaje, la serie HighTemp ayuda a los fabricantes de circuitos integrados a optimizar la integración de nuevos materiales, tecnologías de transistores y complejas técnicas de patronaje. Aplicaciones Desarrollo de procesos, Cualificación de procesos, Supervisión de herramientas de proceso, Cualificación de herramientas de proceso, Adaptación de herramientas de proceso Datos temporales y espaciales de temperatura en condiciones reales de proceso para la caracterización de procesos avanzados de películas con temperaturas en el rango 20-400°C. Datos de temperatura temporales y espaciales en condiciones de proceso reales para la caracterización de procesos avanzados de películas con temperaturas en el rango 20-500°C. Además, HighTemp-500 amplía la capacidad máxima de recogida de datos (tiempo a temperatura) para procesos de hasta 400°C en comparación con HighTemp-400.