Horno de oxidación RLA-3100

de recocidode campanade gas

Este sistema para 4 - a las obleas de 8 pulgadas realiza la activación y la oxidación en una atmósfera del ambiente del vacío (LP) y de la carga-cerradura del N2. Las lámparas cruzadas superiores y más bajas (halógeno) y un sistema de impregnación se utilizan para una uniformidad más alta de la distribución de la temperatura del en-avión. Características Estructura cruzada superior y más baja de la lámpara y calentar la unidad uniformizing para mejorar la uniformidad de la temperatura del en-avión 4- a la oblea de 8 pulgadas el tamaño está disponible El robot limpio multiaxial permite transferencia de alta velocidad y exacta de la oblea El proceso continuo máximo de 50 obleas está disponible Equipado de un sistema de control operador-amistoso del alto rendimiento El tubo diseñado vacío del cuarzo permite la substitución y el proceso exactos del gas en la presión del vacío