Características clave- 8 gases preinstalados, 22 gases disponibles a través de Bronkhorst FlowSuite
- Medición de flujo y temperatura
- Diseño compacto
- Hasta 16 bar(g)
- Conexión Bluetooth y USB-C con software gratuito Bronkhorst FlowSuite
- Respuesta rápida gracias a la tecnología TCS
Gases preinstalados y rangos máximosGases | rango máx.
N₂, Aire, H₂ | 50 mln/min
O₂ | 45 mln/min
Ar, CH₄ | 40 mln/min
He | 70 mln/min
CO₂ | 35 mln/min
Capacidad multifluidoCon el software gratuito Bronkhorst FlowSuite, puede agregar uno de los 22 gases disponibles o crear mezclas en el instrumento. De esta manera, tiene un instrumento multifluido para su aplicación: C₂H₂, Aire, C₃H₄ #1, Ar, CO₂, CO, C₃H₆ #1, D₂ #1, C₂H₆, C₂H₄, He, H₂, Kr, CH₄, Ne, N₂, N₂O, O₂, C₃F₈, C₃H₆ #2, C₃H₈, C₃H₄ #2.
Puede conectar fácilmente el instrumento a su teléfono a través de Bluetooth y usarlo con la aplicación. Alternativamente, el instrumento se puede conectar a una PC usando los cables apropiados.
Características del FF-103 FLEXI-FLOW 50 mln/min- Salida multiparámetro: flujo másico real y temperatura (instrumento)
- Utilizable para prácticamente cualquier tipo de gas o mezcla de gases
- Conexión simple y segura a través de Bluetooth o USB-C
- Funcionalidades avanzadas de diagnóstico
- Alta precisión a través de la base de datos de gases integrada y conversión en tiempo real
- Fácil de configurar
- MTBF 145 años
- TCS único (Through Chip Sensor)
- Respuesta rápida <30ms
- Diseño compacto
- Indicación de estado Namur NE107
Aplicaciones- Sputtering reactivo
- Seguimiento rápido de puntos de ajuste para el control del grosor y la transparencia de la capa
- Amplio rango dinámico para flexibilidad dentro de la aplicación
- Equipos analíticos
- Análisis de elementos traza, Cromatografía de gases, Espectroscopía ICP, Espectroscopía OES, Espectrometría de masas
- Excelente repetibilidad y estabilidad a largo plazo
- Grado analítico; baja desgasificación. Control de flujo rápido, incluso a tasas de flujo muy bajas.
- Célula de combustible
- Muy preciso y repetible a corto y largo plazo para la medición y control de flujo de H₂, Aire, O₂ y CO₂
- Medición y control de flujo de respuesta rápida para precisión en cualquier momento
- Amplio rango dinámico para la medición y control de flujo para precisión en un amplio rango de flujo
- Compacto para aplicaciones móviles con espacio restringido
Especificaciones técnicas- Sistema de medición / control:
- Rango de flujo: 1...50 mln/min
- Precisión: ±1.5% Rd más ±0.5% FS (en condiciones de calibración)
- Repetibilidad: < ± 0.2% Rd
- Relación de reducción: 1:50
- Clasificación de presión (PN): 16 bar(g) (232 psi(g))
- Clasificación de temperatura: 0 … 50 °C (32°F … 122°F)
- Presión de operación: 0.8 … 17 bar(a)
- Gases preinstalados: Aire, N₂, O₂, H₂, Ar, He, CH₄, CO₂ (datos de gas integrados para 22 gases únicos más cualquier mezcla de estos gases)
- Gas de calibración estándar: N₂
- Tiempo de respuesta (sensor): <30 ms
- Coeficiente de temperatura: Sensor de flujo: cero 0.015% FS/ºC; span 0.05% Rd/ºC
- Integridad de fuga, hacia afuera: Típico < 2 x 10⁻⁹ mbar l/s He
- Sensibilidad de actitud: Montaje en cualquier posición, sensibilidad de actitud despreciable
- Partes mecánicas:
- Material (partes mojadas): aluminio, acero inoxidable, nitruro de silicio, epoxi, óxido de aluminio, vidrio
- Presión de prueba: 25 bar(g)
- Conexiones de proceso: G1/8”BSSP ISO 1179 cavidades
- Material de sellado: FKM 51415
- Peso: 250 gramos
- Protección de ingreso: IP40
- Propiedades eléctricas:
- Fuente de alimentación: +24 VDc ± 10%
- Consumo máximo de energía: 0.5 Watt
- Comunicación digital: Modbus-RTU / FLOW-BUS
- Conexión eléctrica: 9-pin D-sub macho