Características clave- 8 gases preinstalados, 22 gases disponibles a través de Bronkhorst FlowSuite
- Medición de flujo y temperatura
- Diseño compacto
- Hasta 16 bar(g)
- Conexión Bluetooth y USB-C con software gratuito Bronkhorst FlowSuite
- Respuesta rápida gracias a la tecnología TCS
Gases preinstalados y rangosGases | rango máx.
N₂, Aire, H₂ | 5 ln/min
O₂ | 4.5 ln/min
Ar, CH₄ | 4 ln/min
He | 7 ln/min
CO₂ | 3.5 ln/min
Capacidad multifluidoCon el software gratuito Bronkhorst FlowSuite, puede agregar uno de los 22 gases disponibles o crear mezclas en el instrumento. De esta manera, tiene un instrumento multifluido para su aplicación: C₂H₂, Aire, C₃H₄ #1, Ar, CO₂, CO, C₃H₆ #1, D₂ #1, C₂H₆, C₂H₄, He, H₂, Kr, CH₄, Ne, N₂, N₂O, O₂, C₃F₈, C₃H₆ #2, C₃H₈, C₃H₄ #2.
Puede conectar fácilmente el instrumento a su teléfono a través de Bluetooth y usarlo con la aplicación. Alternativamente, el instrumento se puede conectar a una PC usando los cables apropiados.
Características del FF-107 FLEXI-FLOW 5 ln/min- Salida multiparámetro: flujo másico real y temperatura (instrumento)
- Utilizable para prácticamente cualquier tipo de gas o mezcla de gases
- Conexión simple y segura a través de Bluetooth o USB-C
- Funcionalidades avanzadas de diagnóstico
- Alta precisión a través de la base de datos de gases integrada y conversión en tiempo real
- Fácil de configurar
- MTBF 145 años
- TCS único (Through Chip Sensor)
- Respuesta rápida <30ms
- Diseño compacto
- Indicación de estado Namur NE107
Aplicaciones- Sputtering reactivo
- Seguimiento rápido de puntos de ajuste para el control del grosor y la transparencia de la capa
- Amplio rango dinámico para flexibilidad dentro de la aplicación
- Equipos analíticos
- Análisis de elementos traza, Cromatografía de gases, Espectroscopía ICP, Espectroscopía OES, Espectrometría de masas
- Excelente repetibilidad y estabilidad a largo plazo
- Grado analítico; baja desgasificación. Control de flujo rápido, incluso a tasas de flujo muy bajas.
- Célula de combustible
- Muy preciso y repetible a corto y largo plazo para la medición y control de flujo de H₂, Aire, O₂ y CO₂
- Medición y control de flujo de respuesta rápida para precisión en cualquier momento
- Amplio rango dinámico de medición y control de flujo para precisión en un amplio rango de flujo
- Compacto para aplicaciones móviles con espacio restringido
Especificaciones técnicasSistema de medición / control
Rango de flujo | 0.1...5 ln/min
Precisión | ±1.5% Rd más ±0.5% FS (en condiciones de calibración)
Repetibilidad | < ± 0.2% Rd
Relación de reducción | 1:50
Clasificación de presión (PN) | 16 bar(g) (232 psi(g))
Clasificación de temperatura | 0 … 50 °C (32°F … 122°F)
Presión de operación | 0.8 … 17 bar(a)
Gases preinstalados | Aire, N2, O2, H2, Ar, He, CH4, CO2; datos de gas integrados para 22 gases únicos más cualquier mezcla de estos gases
Gas de calibración estándar | N2
Tiempo de respuesta (sensor) | <30 ms
Coeficiente de temperatura | Sensor de flujo: cero 0.015% FS/ºC; rango 0.05% Rd/ºC
Integridad de fuga, hacia afuera | Típico < 2 x 10-9 mbar l/s He
Sensibilidad de actitud | Montaje en cualquier posición, sensibilidad de actitud despreciable
Partes mecánicas
Material (partes en contacto) | aluminio, acero inoxidable, nitruro de silicio, epoxi, óxido de aluminio, vidrio
Presión de prueba | 25 bar(g)
Conexiones de proceso | G1/8”BSSP ISO 1179 cavidades
Material de sellado | FKM 51415
Peso | 250 gramos
Protección de ingreso | IP40
Propiedades eléctricas
Fuente de alimentación | +24 VDc ± 10%
Consumo máximo de energía | 0.5 Watt
Comunicación digital | Modbus-RTU / FLOW-BUS
Conexión eléctrica | 9-pin D-sub male
Características / Especificaciones técnicas- Modelo: FF-107 FLEXI-FLOW 5 ln/min
- Marca: Bronkhorst
- Rango de flujo: 0.1...5 ln/min
- Precisión: ±1.5% Rd más ±0.5% FS
- Repetibilidad: < ± 0.2% Rd
- Relación de reducción: 1:50
- Clasificación de presión: 16 bar(g)
- Clasificación de temperatura: 0 … 50 °C
- Presión de operación: 0.8 … 17 bar(a)
- Gases preinstalados: Aire, N2, O2, H2, Ar, He, CH4, CO2
- Datos de gas integrados: 22 gases únicos más mezclas
- Gas de calibración estándar: N2
- Tiempo de respuesta: <30 ms
- Coeficiente de temperatura: Sensor de flujo: cero 0.015% FS/ºC; rango 0.05% Rd/ºC
- Integridad de fuga: Típico < 2 x 10-9 mbar l/s He
- Sensibilidad de actitud: Montaje en cualquier posición, despreciable
- Material (partes en contacto): aluminio, acero inoxidable, nitruro de silicio, epoxi, óxido de aluminio, vidrio
- Presión de prueba: 25 bar(g)
- Conexiones de proceso: G1/8”BSSP ISO 1179 cavidades
- Material de sellado: FKM 51415
- Peso: 250 gramos
- Protección de ingreso: IP40
- Fuente de alimentación: +24 VDc ± 10%
- Consumo máximo de energía: 0.5 Watt
- Comunicación digital: Modbus-RTU / FLOW-BUS
- Conexión eléctrica: 9-pin D-sub male