Características clave- 8 gases preinstalados, 22 gases disponibles a través de Bronkhorst FlowSuite
- Medición de flujo y temperatura
- Diseño compacto
- Hasta 16 bar(g)
- Conexión Bluetooth y USB-C con software gratuito Bronkhorst FlowSuite
- Respuesta rápida gracias a la tecnología TCS
Gases preinstaladosGases | rango máx.
N₂, Aire, H₂ | 500 mln/min
O₂ | 450 mln/min
Ar, CH₄ | 400 mln/min
He | 700 mln/min
CO₂ | 350 mln/min
Gases adicionales a través de FlowSuiteCon el software gratuito Bronkhorst FlowSuite, puede agregar uno de los 22 gases disponibles o crear mezclas en el instrumento. De esta manera, tiene un instrumento multifluido para su aplicación: C₂H₂, Aire, C₃H₄ #1, Ar, CO₂, CO, C₃H₆ #1, D₂ #1, C₂H₆, C₂H₄, He, H₂, Kr, CH₄, Ne, N₂, N₂O, O₂, C₃F₈, C₃H₆ #2, C₃H₈, C₃H₄ #2.
Puede conectar fácilmente el instrumento a su teléfono a través de Bluetooth y usarlo con la aplicación. Alternativamente, el instrumento se puede conectar a una PC usando los cables apropiados.
Características del FF-105 FLEXI-FLOW 500 mln/min- Salida multiparámetro: flujo másico real y temperatura (instrumento)
- Utilizable para prácticamente cualquier tipo de gas o mezcla de gases
- Conexión simple y segura a través de Bluetooth o USB-C
- Funcionalidades avanzadas de diagnóstico
- Alta precisión a través de la base de datos de gases a bordo y conversión en tiempo real
- Fácil de configurar
- MTBF 145 años
- TCS único (Through Chip Sensor)
- Respuesta rápida <30 ms
- Diseño compacto
- Indicación de estado Namur NE107
Especificaciones técnicasSistema de medición / control
Rango de flujo: 10...500 mln/min
Precisión: ±1.5% Rd más ±0.5% FS (en condiciones de calibración)
Repetibilidad: < ± 0.2% Rd
Relación de reducción: 1:50
Clasificación de presión (PN): 16 bar(g) (232 psi(g))
Rango de temperatura: 0 … 50 °C (32°F … 122°F)
Presión de operación: 0.8 … 17 bar(a)
Gases preinstalados: Aire, N₂, O₂, H₂, Ar, He, CH₄, CO₂
Gas de calibración estándar: N₂
Tiempo de respuesta (sensor): <30 ms
Coeficiente de temperatura: Sensor de flujo: cero 0.015% FS/ºC; span 0.05% Rd/ºC
Integridad de fuga, hacia afuera: Típico < 2 x 10-9 mbar l/s He
Sensibilidad de actitud: Montaje en cualquier posición, sensibilidad de actitud despreciable
Partes mecánicas
Material (partes en contacto): aluminio, acero inoxidable, nitruro de silicio, epoxi, óxido de aluminio, vidrio
Presión de prueba: 25 bar(g)
Conexiones de proceso: G1/8”BSSP ISO 1179 cavidades
Material de sellado: FKM 51415
Peso: 250 gramos
Protección de ingreso: IP40
Propiedades eléctricas
Fuente de alimentación: +24 VDc ± 10%
Consumo máximo de energía: 0.5 Watt
Comunicación digital: Modbus-RTU / FLOW-BUS
Conexión eléctrica: 9-pin D-sub male
Aplicaciones- Sputtering reactivo
- Seguimiento rápido de puntos de ajuste para el control del grosor y transparencia de la capa
- Amplio rango dinámico para flexibilidad dentro de la aplicación
- Equipos analíticos
- Análisis de elementos traza, Cromatografía de gases, Espectroscopía ICP, Espectroscopía OES, Espectrometría de masas
- Excelente repetibilidad y estabilidad a largo plazo
- Grado analítico; baja desgasificación. Control de flujo rápido, incluso a tasas de flujo muy bajas.
- Célula de combustible
- Muy preciso y repetible a corto y largo plazo para la medición y control de flujo de H2, Aire, O2 y CO2
- Medición y control de flujo de respuesta rápida para precisión en cualquier momento
- Amplio rango dinámico para la medición y control de flujo para precisión en un amplio rango de flujo
- Compacto para aplicaciones móviles con espacio restringido
Características / Especificaciones técnicas- Modelo: FF-105 FLEXI-FLOW
- Flujo máximo: 500 mln/min
- Gases preinstalados: Aire, N₂, O₂, H₂, Ar, He, CH₄, CO₂
- 22 gases disponibles a través de FlowSuite
- Conexión Bluetooth y USB-C
- Clasificación de presión: 16 bar(g)
- Protección de ingreso: IP40
- Fuente de alimentación: +24 VDc ± 10%
- Peso: 250 g