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Sistema de medición de dimensiones críticas NEXIV VMZ-S
del campo de visión (FOV)de distanciade coordenadas

Sistema de medición de dimensiones críticas - NEXIV VMZ-S - Nikon Metrology - del campo de visión (FOV) / de distancia / de coordenadas
Sistema de medición de dimensiones críticas - NEXIV VMZ-S - Nikon Metrology - del campo de visión (FOV) / de distancia / de coordenadas
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Características

Magnitud física
dimensional, de distancia, de coordenadas, de dimensiones críticas, del campo de visión (FOV)
Tecnología
óptico, visión, por cámara, de luz blanca, por láser, de vídeo
Modo de funcionamiento
automático, automatizado, continuo
Objeto de la medición
para piezas torneadas, para oblea, para semiconductor
Aplicaciones
para aplicaciones industriales, para línea de producción, para control de calidad
Otras características
de alta precisión, sin contacto, de alta velocidad, de alta resolución, configurable

Descripción

Resumen del producto
La serie NEXIV VMZ‑S de Nikon incluye sistemas de medición por vídeo para inspecciones dimensionales y de altura en entornos industriales. Está disponible en tres envolventes de medición (VMZ‑S3020, VMZ‑S4540, VMZ‑S6555), con seis tipos de ópticas/zoom y láser de escaneo TTL como estándar.

Velocidad y precisión
  • El AF láser TTL permite el escaneo de altura a alta velocidad hasta 1.000 puntos/s para obtener perfiles de superficie.
  • Lectura mínima 0,01 µm y repetibilidad del AF láser 2σ ≤ 0,5 µm para mediciones trazables.
  • Diseñado para flujos de inspección continuos con mediciones automáticas tolerantes a variaciones de posicionamiento de las piezas.


Puntos destacados
  • Seis tipos ópticos (Tipo 1, 2, 3, 4, TZ, A) que cubren distintos campos y aumentos; Tipo 1–3 enfocan baja distorsión y alto NA, Tipo 4 y TZ cubren grandes aumentos.
  • Iluminador anular de 8 segmentos con varios ángulos de incidencia (LED blancos) que mejora la captura de bordes; configuraciones de iluminación por tipo: episcópico, diascópico y campo oscuro.
  • Detección de capas transparentes de ~0,1 mm mediante AF láser TTL (no disponible para Tipo A).
  • Sondas de imagen y opciones de sondeo con errores de sondeo reducidos para la medición de detalles finos (P_FV2D,MPE 0,3 µm; P_F2D,MPE 0,8 µm).


Funciones principales
  • Medición dimensional precisa y rápida en diferentes aumentos mediante ópticas de alto NA.
  • Estrategias de iluminación flexibles y opciones específicas para medir bordes difíciles y geometrías complejas.
  • Cámara 1/3" CMOS en blanco y negro o color y zoom óptico continuo para flujo de trabajo de inspección.
  • Integración con software de medición Nikon y SDK opcionales para automatización y gestión de datos.


Especificaciones (resumen)
Modelo | VMZ‑S3020 | VMZ‑S4540 | VMZ‑S6555
Recorridos XYZ | 300 × 200 × 200 mm (TZ baja magnificación: 250 × 200 × 200 mm) | 450 × 400 × 200 mm (TZ baja magnificación: 400 × 400 × 200 mm) | 650 × 550 × 200 mm (TZ baja magnificación: 600 × 550 × 200 mm)
Lectura mínima | 0,01 µm (todos los modelos)
Peso máximo de muestra | 20 kg (precisión garantizada: 5 kg) | 40 kg (precisión garantizada: 20 kg) | 50 kg (precisión garantizada: 30 kg)
Error máximo admisible (MPE) | EUX/EUY, MPE = 1,2 + 4L/1000 µm; EUXY, MPE = 2,0 + 4L/1000 µm; EUZ, MPE = 1,2 + 5L/1000 µm
Error de sondeo | P_F2D,MPE = 0,8 µm; P_FV2D,MPE = 0,3 µm
Cámara | 1/3" CMOS Blanco/Negro o Color
Distancia de trabajo | Tipo 1–3: 50 mm; Tipo 4: 30 mm; Tipo TZ: (alto aumento) 11 mm / (bajo aumento) 32 mm; Tipo A: 73,5 mm (63 mm con AF láser)
Repetibilidad AF láser | 2σ ≤ 0,5 µm
Iluminación | Episcópico, diascópico, anillo segmentado de 8 con varios ángulos (LED blancos); opciones de campo oscuro según tipo
Alimentación / consumo | CA 100–240 V, 50/60 Hz / 2–4 A
Dimensiones y peso | Consultar entradas por modelo (chasis principal y controlador).

Especificaciones técnicas
  • Serie: NEXIV VMZ‑S (VMZ‑S3020, VMZ‑S4540, VMZ‑S6555).
  • Lectura mínima: 0,01 µm.
  • AF láser TTL: escaneo hasta 1.000 puntos/s; repetibilidad 2σ ≤ 0,5 µm.
  • Precisión de sondeo: P_FV2D,MPE 0,3 µm; P_F2D,MPE 0,8 µm.
  • Iluminación: episcópico, diascópico, anillo segmentado y opciones de campo oscuro.
  • Cámara: 1/3" CMOS (BN / color).
  • Alimentación: CA100–240 V, 50/60 Hz.
  • Huella y masa: varían según modelo; consulte las dimensiones por modelo para instalación.
* Los precios no incluyen impuestos, gastos de entrega ni derechos de exportación. Tampoco incluyen gastos de instalación o de puesta en marcha. Los precios se dan a título indicativo y pueden cambiar en función del país, del coste de las materias primas y de los tipos de cambio.