Sistema de medición de diámetro NEXIV VMZ-NWL200

de posiciónde dimensiones críticasdimensional

Descripción general
VMZ-NWL200 es un sistema automático de medición de obleas que integra el sistema de medición por vídeo NEXIV y el cargador de obleas NWL200. Mediante procesamiento avanzado de imágenes, realiza mediciones automáticas, rápidas y de alta precisión de obleas de 6 y 8 pulgadas alojadas en portadores, y proporciona datos adecuados para el control de procesos en la industria de semiconductores.

Fiabilidad, eficiencia y operabilidad

• Alta fiabilidad: mediciones totalmente automáticas y repetibles que reducen la variación entre operadores; óptica avanzada para imágenes nítidas y detección precisa de bordes.
• Alta eficiencia: la inspección se inicia con un solo clic; la productividad de medición es significativamente mayor que la de los microscopios de medición convencionales, reduciendo el coste de propiedad.
• Buena operabilidad: la GUI muestra gráficos de la oblea y permite seleccionar chips mediante clic del ratón; el software dedicado simplifica las tareas de control de proceso y acelera la retroalimentación a producción.

Puntos destacados

• Celda de medición integrada que combina el sistema de vídeo NEXIV y el cargador automático NWL200.
• Inspección automática y segura de obleas de 6" y 8" cargadas en portadores.
• Medición de alta velocidad y alta precisión diseñada para el control de procesos y los requisitos de Quality 4.0.

Funciones principales

• Manipulación y medición automáticas de obleas de 6" y 8" en portadores, incluyendo transferencia y posicionamiento.
• Programas de inspección robustos con creación, ejecución y almacenamiento y trazabilidad completa.
• Contribuye a mejorar el rendimiento mediante la entrega rápida de datos de medición de alta calidad a los sistemas de control de producción.
• Selección de chips y configuración de medición mediante GUI para simplificar las tareas del operario.

Especificaciones técnicas

• Equipo: Sistema de medición por vídeo – NEXIV (VMZ-S3020 Tipo2 / Tipo3 / TipoTZ); Cargador – NWL200
• Tamaño de obleas: 6 pulg., 8 pulg. (norma SEMI/JEIDA)
• Portadores compatibles: 6" – PA182-60MB-06XX (Entegris); 8" – PA192-80M-06XX (Entegris)
• Rendimiento (referencia de transferencia): 6 min 45 s para 25 obleas (sin incluir tiempo de medición)
• Mínimo L/S: 500 líneas/mm
• Temperatura de funcionamiento: 19–26 °C
• Humedad de funcionamiento: menos del 70 % HR
• Dimensiones (An x Pr): 4125 x 3040 mm
• Voltaje de alimentación: AC 100–120 V / 200–240 V
• Frecuencia: 50 Hz / 60 Hz
• Consumo de corriente: 7.5 A / 3.7 A
• Vacío: -80 kPa

Notas

• *1 Es necesaria la evaluación de transferencia de obleas antes de la venta.
• *2 El tiempo de transferencia indicado corresponde a 25 obleas y excluye el tiempo de medición.