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Máquina de control de rayos X MFM310
para obleasalta resolución

máquina de control de rayos X
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Características

Tecnología
de rayos X
Aplicaciones
para obleas
Otras características
alta resolución

Descripción

MFM310 El Rigaku MFM310 realiza mediciones de alta precisión que no son posibles por medio de técnicas ópticas o por ultrasonidos. Esta herramienta sofisticada de metrología de rayos X hace que sea práctico realizar mediciones de alto rendimiento en productos y láminas de obleas en un rango que va desde películas ultra delgadas de una sola capa a pilas de capas múltiples. Diseñado para un alto volumen de fabricación El MFM310 está diseñado tomando en cuenta fabricaciones de alto volumen de 200mm y 300mm: alto rendimiento de la medición de espesores por XRR y XRF (reflectometría de rayos X (RRX) y fluorescencia de rayos X (FRX)), baja contaminación en la manipulación de obleas y reconocimiento de patrones basado en control de posición para las mediciones de la oblea del producto, el cumplimiento de las normas CE Marking y S2/S8 para operaciones de producción de semiconductores en sala limpia, el cumplimiento de GEM-300/HSMS y estándares de automatización de fábricas, máquina de alta fiabilidad y rendimiento, bajo consumo de energía y bajo costo de propiedad. COLORS™ tecnología habilitada Las ópticas de rayos X Colors™ han sido desarrolladas por Rigaku para el MFM310, para permitir mediciones de áreas pequeñas. Los módulos de haz COLORES reúnen una variedad de fuentes de excitación de XRFo FRX (Fluorescencia de rayos X) con la óptica y están optimizados para proporcionar un nivel alto de brillo en pequeñas manchas para una variedad de aplicaciones de película delgada. Con su propio negocio de óptica de rayos X, Rigaku está bien posicionado como creador y fabricador de fuentes de rayos X para las necesidades actuales y futuras del mercado.

Catálogos

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Ferias

Este distribuidor estará presente en las siguientes ferias

ACHEMA 2024
ACHEMA 2024

10-14 jun. 2024 Frankfurt am Main (Alemania)

  • Más información
    * Los precios no incluyen impuestos, gastos de entrega ni derechos de exportación. Tampoco incluyen gastos de instalación o de puesta en marcha. Los precios se dan a título indicativo y pueden cambiar en función del país, del coste de las materias primas y de los tipos de cambio.