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Potencia de salida: 4 kW
Anchura del rango de inspección: 780 mm - 1.000 mm
Altura del rango de inspección: 260 mm - 660 mm
... Opcional)
Tabla de movimiento y control
Control eje X: husillo de bolas de alta precisión + controlador AC-servo (opcional: husillo de bolas de alta precisión de doble accionamiento + AC-servo)
Control ...
... Los sistemas de inspección de defectos por plasma de banda ancha 3935 y 3920 EP permiten la detección de defectos a nivel de oblea, el aprendizaje del rendimiento y la supervisión en línea para la lógica de ≤5nm y los nodos de diseño ...
KLA Corporation
... Descripción
AIVR es una estación de verificación CIMS impulsada por IA que combina verificación virtual y física dentro de una misma estación de trabajo. La CIMS AIVR 5μ está diseñada para soportar fabricación de alto volumen de sustratos de ...
... y fluorescencia de rayos X (FRX)), baja contaminación en la manipulación de obleas y reconocimiento de patrones basado en control de posición para las mediciones de la oblea del producto, el cumplimiento ...
... rugosidad y la variación del grosor total (TTV) de la oblea. Medición de la rugosidad de obleas sin patrón Durante el proceso de esmerilado basto y esmerilado fino para el adelgazamiento de la oblea, ...
... Proporciona adquisición de imágenes en color de alta resolución y gestión integrada de resultados de inspección para soportar el
control de producción y procesos en la fabricación de semiconductores.
Características clave
- AOI
... transceptores de RF, conectividad inalámbrica y MEMS. Resumen de productos La plataforma, configurable tanto para sustratos de oblea (redondos) como de panel (rectangulares), ofrece múltiples modos de imagen, incluyendo la tecnología ...
Onto Innovation Inc.
... completas de obleas en tres dimensiones (3D). Se dispone de informes de datos personalizados para ver los datos tabulares de cada oblea medida con una exportación rápida y sencilla a su programa de hoja de cálculo. ...
... Presentación del producto AOI de bola / AOI de protuberancia Equipo de inspección de partículas de la serie MRD-3100 para productos COG, FOG y COF, especialmente para la detección de defectos de unión del módulo de pantalla LCD. Líder en la industria, ...
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