Sistema de posicionamiento XYZ 782300:179.26

de pórticopara la industria de los semiconductorespara sala blanca

Portal XYZ XXL con mandril de vacío Personalizable: - Ideal para la inspección automatizada de superficies con variación de enfoque - Diseñado para pesos de muestra de hasta 50 kg (excluida la platina de vacío) - Amortiguación pasiva de las vibraciones y desacoplamiento de las vibraciones del edificio (cámara de medición estándar clase de calidad 3 según VDI 2627) - Vida útil enormemente larga con 1.000.000 de ciclos completos y un intervalo de mantenimiento de 500.000 ciclos completos resp. cada 2 años Este sistema de posicionamiento mueve un mandril de vacío en una superficie de 1000 x 1000 mm. El sistema estándar PMT160-SM está fijado al eje transversal para el sensor específico del cliente, que se utiliza para la variación del enfoque. Los ejes están totalmente cerrados, lo que evita la contaminación y las interferencias. Especificaciones: - Sistema estándar: PLT320-SM (XY) / PMT160-SM (Z) - Recorrido: 1000 mm (XY) / 100 mm (Z) - Repetibilidad: ± 3,9 - ± 4,4 µm (XY) / ± 1,9 - ± 2,4 µm (Z) - Velocidad de posicionamiento: 30 mm/s (XY) / 10 mm/s (Z) - Carga máx: 490 N (XY) / 40 N (F) / ± 45 N (Z) - Motor: Motor paso a paso (XYZ) - Guía: Husillo de bolas (XYZ) - Führung: Raíl perfilado (XY) / Rodamientos de rodillos cruzados (Z) - Retroalimentación: Lazo abierto (XYZ) - Länge x Breite x Höhe: 2250 x 1500 x 1500 mm Opciones personalizadas: - Con escala lineal para precisiones de hasta 0,3 µm - Configuración modular del sistema - Armario de seguridad - Configuración especial para semiconductores, biotecnología, productos farmacéuticos - Versiones para sala blanca ISO 14644-1 (hasta clase 1 bajo pedido) - Control de movimiento listo para usar con controlador preconfigurado incl. software de muestra - Desarrollo de soluciones individuales con diseño 3D para la tarea de posicionamiento